[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法和装置

权利要求书

1.一种确定装置的仪器传递函数的方法，所述方法包括：

使用所述装置在所述装置的第一表面处测量具有一个或多个具有已知形貌的表面特征的人工制品的第一表面场，所述第一表面场是复合电磁场；

使用电子处理器从所述第一表面场导出第一表面轮廓；

使用所述电子处理器从所述第一表面轮廓识别所述一个或多个表面特征；

使用所述电子处理器基于包含所述表面特征的所述第一表面轮廓的至少一部分来确定所述第一表面处的第一焦点度量；

使用所述电子处理器将所述第一表面场数字地变换为所述装置的第二表面处的第二表面场，所述第二表面场是复合电磁场；

使用所述电子处理器从所述第二表面场导出第二表面轮廓并且为所述第二表面轮廓计算第二焦点度量，所述第二焦点度量具有与所述第一焦点度量不同的值；

基于至少所述第一焦点度量和所述第二焦点度量来确定用于评估所述仪器传递函数的最优表面；以及

使用所述电子处理器基于在所述最优表面处获得的表面轮廓的至少一部分来确定所述装置的所述仪器传递函数。

2.如权利要求1所述的方法，还包括从所述第二表面轮廓的一部分获得空间频谱。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述第二表面轮廓的所述部分包括包含所述一个或多个表面特征的所述第二表面轮廓的连续像素。

4.如权利要求2所述的方法，还包括在获得所述部分的空间频谱之前对所述第二表面轮廓的所述部分进行归一化和微分。

5.如权利要求4所述的方法，其中对所述第二表面的所述部分进行归一化包括：从所述第二表面轮廓的每个部分确定与那个部分相关联的台阶高度；并将所述部分除以所述台阶高度。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一表面轮廓和所述第二表面轮廓包括所述人工制品的表面的形貌表示。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个表面特征包括台阶，所述已知形貌包括所述台阶的已知台阶高度，并且所述表面轮廓包括高度图。

8.如权利要求1所述的方法，其中利用来自所述装置的操作员的输入交互式地选择所述第二表面。

9.如权利要求1所述的方法，其中自动地选择所述第二表面，而无需来自所述装置的操作员的输入。

10.如权利要求1所述的方法，其中将所述第一表面场数字地变换为所述第二表面场包括将所述第一表面场数字地传播到所述第二表面场。

11.如权利要求10所述的方法，其中将所述第一表面场数字地传播到所述第二表面场包括从所述第一表面场获得角频谱，将所述角频谱乘以与所述第一表面和所述第二表面之间的距离成比例的传播函数以获得更新后的角频谱，并使用所述更新后的角频谱确定所述第二表面处的所述第二表面场。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述第二表面轮廓的多个部分被提取，为所述多个部分中的每个部分确定空间频谱，并且将所述空间频谱中的每个空间频谱的频谱分量求和。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述第二焦点度量最大化从所述多个部分导出的平均后的空间频谱的振幅之和。

14.如权利要求13所述的方法，其中所述第二焦点度量包括Strehl比率。

15.如权利要求1所述的方法，其中所述人工制品包括多个独特的特征，以帮助确定所述装置的第二表面。

16.如权利要求15所述的方法，其中所述多个独特的特征被部署在已知位置处，所述多个特征充当基准点。