[发明专利]表面折射率测定方法及利用了该方法的表面应力测定方法有效

专利信息
申请号: 201680076413.5 申请日: 2016-12-27
公开(公告)号: CN108700511B 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 折原秀治;折原芳男;大神聪司 申请(专利权)人: 折原制作所有限公司;AGC株式会社
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01L1/00;G01L1/24
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 熊传芳;苏卉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 表面 折射率 测定 方法 利用 应力
【权利要求书】:

1.一种强化玻璃的表面折射率测定方法,包括:

光供给工序,使来自光源的光经由液体入射到所述强化玻璃的具有压缩应力层的表面层内,所述液体具有与所述表面层的表面的折射率相同的折射率;

光取出工序,使在所述表面层内传播了的光经由所述液体和光输入输出部件向所述强化玻璃的外部射出;

光转换工序,将向所述强化玻璃的外部射出的光中包含的、相对于所述强化玻璃与所述液体的边界面平行及垂直地振动的两种光成分转换为两种亮线列;

拍摄工序,对所述两种亮线列进行拍摄;

位置测定工序,根据在所述拍摄工序中得到的图像测定所述两种亮线列的亮线的位置;及

折射率分布计算工序,基于所述位置测定工序中的测定结果,计算与所述两种光成分对应的所述强化玻璃的表面的折射率或者所述强化玻璃的从表面起沿深度方向的折射率分布。

2.根据权利要求1所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

所述液体的折射率与所述强化玻璃的表面的折射率之差的绝对值为0.005以下。

3.一种强化玻璃的表面折射率测定方法,包括:

光供给工序,使来自光源的光经由液体入射到所述强化玻璃的具有压缩应力层的表面层内,所述液体具有处于所述表面层的表面的折射率与所述强化玻璃的比表面层深的部分的折射率之间的折射率;

光取出工序,使在所述表面层内传播了的光经由所述液体和光输入输出部件向所述强化玻璃的外部射出;

光转换工序,将向所述强化玻璃的外部射出的光中包含的、相对于所述强化玻璃与所述液体的边界面平行及垂直地振动的两种光成分转换为两种亮线列;

拍摄工序,对所述两种亮线列进行拍摄;

位置测定工序,根据在所述拍摄工序中得到的图像测定所述两种亮线列的亮线的位置;及

折射率分布计算工序,基于所述位置测定工序中的测定结果,计算与所述两种光成分对应的所述强化玻璃的表面的折射率或者所述强化玻璃的从表面起沿深度方向的折射率分布。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

在所述光供给工序和所述光取出工序中,所述光输入输出部件的第1面经由所述液体与所述强化玻璃抵接,

至少在所述拍摄工序中得到的图像的区域中的所述光输入输出部件的所述第1面的平坦度为来自所述光源的光的波长的1/4以下,

在所述拍摄工序中得到的图像的区域中的所述光输入输出部件的所述第1面的折射率的面内偏差为1×10-5以下。

5.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

所述光输入输出部件与所述强化玻璃的表面之间的距离d为5微米以下。

6.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

所述强化玻璃的表面的粗糙度Ra为0.005微米以上。

7.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

对在所述强化玻璃的表面层中扩散有金属离子的玻璃进行测定。

8.根据权利要求7所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

所述金属离子为从由Sn、Ag、Ti、Ni、Co、Cu、In构成的组中选择的至少一个。

9.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

具有所述折射率的液体是在液体中混合有填料而形成的。

10.根据权利要求1~3中任一项所述的强化玻璃的表面折射率测定方法,其中,

在所述光输入输出部件的与强化玻璃抵接的面中,被拍摄的区域与非拍摄区域之间的高度为0.001~5微米。

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