[发明专利]编码器装置有效
申请号: | 201680065370.0 | 申请日: | 2016-09-08 |
公开(公告)号: | CN108351229B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 贾森·斯拉克;理查德·詹姆斯·贝尔 | 申请(专利权)人: | 瑞尼斯豪公司 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 英国格*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 编码器 装置 | ||
1.一种编码器装置,包括增量式标尺和读头,所述增量式标尺包括至少一个轨道,所述轨道包括一系列一般周期性布置的、被配置成对光进行衍射的特征,所述读头包括传感器,所述传感器包括用于检测落在所述传感器上的标尺信号的传感器元件阵列,其用于确定所述标尺与所述读头的相对位置,其中,所述标尺信号包括干涉条纹,其中,所述装置被配置为使得根据窗函数对所述传感器沿着其长度的输出进行加权,所述窗函数被配置成减小所述标尺信号中不期望频率的不利影响,以便由此减小所述编码器装置的细分误差,其中,所述加权被配置为使得所述传感器输出对所确定相对位置的影响主要朝向所述传感器的端部减小。
2.如权利要求1所述的编码器装置,其中,根据所述窗函数进行所述加权被配置成抑制所述传感器的空间频率响应的旁瓣。
3.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述传感器的空间频率响应的主旁瓣的幅度不超过所述传感器的空间频率响应的主瓣幅度的10%。
4.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述加权被配置为使得来自所述传感器的所述输出对所述所确定相对位置的影响通常朝向所述传感器的端部逐渐减小。
5.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述传感器输出对所述所确定相对位置的影响在所述传感器的中间三分之一处明显比在所述传感器的外三分之一处大。
6.如权利要求1所述的编码器装置,其被配置为使得所述传感器朝向所述传感器的端部的影响至多为所述传感器朝向所述传感器的中间的影响的25%。
7.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述加权是通过限制到达所述传感器的所述信号来实现的。
8.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述传感器的宽度主要朝向所述传感器的端部减小。
9.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述加权是由至少一个信号限制构件来实现的,所述至少一个信号限制构件被配置成限制到达所述传感器元件的所述标尺信号,从而使得可由所述传感器检测的所述标尺信号朝向所述传感器的端部减小。
10.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述加权是通过部分地阻挡到达所述传感器的所述标尺信号来实现的。
11.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述加权是由具有非矩形形状的掩模来实现的。
12.如权利要求11所述的编码器装置,其包括与所述掩模间隔开的光源,并且其中,接近和/或离开所述标尺的光被配置为穿过所述掩模,以便对可由所述传感器检测的所述信号的覆盖区进行成形。
13.如权利要求11或12所述的编码器装置,其中,所述掩模被直接形成在所述传感器上。
14.如权利要求1所述的编码器装置,其被配置为使得根据钟形窗函数来对所述输出进行加权,所述钟形窗函数根据以下各项中的一项:凯泽函数;以及汉明函数。
15.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述读头包括光源,所述光源被配置成照亮所述标尺,并且可选地被配置成利用非准直光来照亮所述标尺。
16.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述读头包括用于照亮所述标尺的相干光源。
17.如权利要求16所述的编码器装置,其中,所述光源的光谱带宽不超过1nm。
18.如权利要求1所述的编码器装置,其中,所述读头包括用于产生所述干涉条纹的一个和多个衍射光栅。
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