[发明专利]有机EL元件的制造方法

说明书

本发明提供一种有机EL元件(1)的制造方法，该制造方法包括：在基材(3)上形成第一电极层(5)、有机功能层(7)及第二电极层(9)的工序；在形成第二电极层(9)后，检测缺陷部位的工序；在检测出缺陷部位的情况下，从第二电极层(9)侧照射激光(L)，除去缺陷部位的第二电极层(9)的工序；以及在除去缺陷部位的第二电极层(9)后，形成密封层(11)的工序。

技术领域

本发明涉及一种有机EL元件的制造方法。

背景技术

作为有机EL元件，已知有在支撑基板上依次层叠有第一电极层、包含发光层的有机功能层、第二电极层、和密封层的有机EL元件(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9－148066号公报

发明内容

发明所要解决问题

在以往的有机EL元件的制造工序中，在因第一电极层与第二电极层的短路而产生缺陷(像素缺陷)的情况下，从第一电极层侧向缺陷部位的第二电极层照射激光而除去第二电极层。由此，使第一电极层与第二电极层电绝缘，消除第一电极层与第二电极层的短路。

此处，作为第一电极层，有具备具有网络结构的导体的电极层。在具备该第一电极层的有机EL元件中，在利用激光除去第二电极层的缺陷部位时，如果从第一电极侧照射激光，则会有激光在网络结构的导体中反射的情况。因此，在制造具备具有网络结构的第一电极层的有机EL元件的情况下，以往的制造方法中，因激光在导体中反射而不能将激光向第二电极层的缺陷部位照射，有可能无法除去缺陷部位的第二电极层。因此，以往的有机EL元件的制造方法中，可能产生无法修正缺陷部位的问题。

本发明的一个方面提供一种可以可靠地修正缺陷部位的有机EL元件的制造方法。

用于解决问题的方法

本发明的一个方面的有机EL元件的制造方法是依次配置有基材、具备具有网络结构的导体的第一电极层、有机功能层、第二电极层、和包含不透明基材的密封层的有机EL元件的制造方法，该制造方法包括：在基材上形成第一电极层、有机功能层及第二电极层的工序；在形成第二电极层后，检测由第一电极层与第二电极层的短路造成的缺陷部位的工序；在检测出缺陷部位的情况下，从第二电极层侧照射激光而除去缺陷部位的第二电极层的工序；在除去缺陷部位的第二电极层后，形成密封层的工序。

本发明的一个方面的有机EL元件的制造方法中，在形成包含不透明基材的密封层前，向缺陷部位的第二电极层照射激光而除去第二电极层的一部分。此时，从第二电极层侧照射激光。因此，该制造方法中，不会产生在具有网络结构的第一电极层的导体处激光发生反射、不能将激光向缺陷部位的第二电极层照射的情形。因而，可以向缺陷部位的第二电极层恰当地照射激光，可以可靠地除去第二电极层。其结果是，在有机EL元件的制造方法中，可以可靠地修正缺陷部位。

也可以在一个实施方式中，形成导体具有格子状的图案的第一电极层。在构成网络结构的导体具有格子状的图案的情况下，如果从第一电极层侧照射激光，则激光在导体中反射的可能性高。因此，从第二电极层侧照射激光的方法在具有格子状的图案的网络结构中特别有效。

也可以在一个实施方式中，使用与第二电极层的材料相比熔点高的材料来形成第一电极层。另外，也可以在一个实施方式中，使用与第二电极层的材料相比沸点高的材料来形成第一电极层。利用这些构成，可以抑制由激光的照射造成的第一电极层的损伤。因而，可以抑制有机EL元件的可靠性的降低。

也可以在一个实施方式中，基材具有挠曲性，在连续地运送基材的同时进行各个工序。由于基材具有挠曲性，因此可以采用在运送基材的同时进行处理的卷对卷方式。因此，可以有效地进行各工序中的处理。