[发明专利]液体材料吐出装置

权利要求书

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，

具备：

贮存容器，其贮存液体材料；

吐出口，其吐出液体材料；

压力控制阀，其将自外部的压缩气体源供给的压缩气体调压成设定值的压力；

吐出阀，其确保或遮断压力控制阀与贮存容器的连通；

控制装置，其对吐出阀的动作进行控制；

第一配管，其连接压力控制阀与吐出阀；及

第二配管，其连接吐出阀与贮存容器，

进一步具备：

第三配管，其自所述第一配管分支；及

泄露机构，其连接于所述第三配管，

所述泄露机构，将通过所述压力控制阀调压的压缩气体的一部分排出到外部，由此使所述第一配管内的压力一直低于所述设定值。

2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述液体材料吐出装置是空气式分配器。

3.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述泄露机构构成为具备孔。

4.如权利要求3所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述泄露机构构成为具备连接所述孔与设置于所述孔的下游或上游的开闭阀而成的孔开闭机构。

5.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述开闭阀是通过所述控制装置开闭的自动开闭阀，

所述控制装置根据预先储存的开闭条件信息而对所述开闭阀进行开闭。

6.如权利要求4所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述泄露机构具备多个相互并排地连接的所述孔开闭机构。

7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述孔开闭机构构成为包含第一孔开闭机构、及具有与第一孔开闭机构不同的流量的孔的第二孔开闭机构。

8.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述泄露机构构成为具备通过所述控制装置而能够改变流量的流量控制阀。

9.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述压力控制阀是通过所述控制装置控制动作的电动气动调节器。

10.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述泄露机构具备连接于所述第三配管的末端的负载增强用真空机构。

11.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

具备在所述吐出阀内的流路产生负压的吐出阀用真空机构。

12.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

具备设置于所述第一配管的缓冲槽。

13.一种涂布装置，其特征在于，

具备：权利要求1或2所述的液体材料吐出装置；工件台，其载置工件；相对移动装置，其使所述吐出口与工件相对移动；及压缩气体源，其将压缩气体供给至液体材料吐出装置。