[发明专利]用于反应器系统的夹紧装置

说明书

公开一种用于密封反应器系统的环形室和反应室的夹紧装置。所述夹紧装置可包括以可独立控制的两组或更多组致动器组的方式对称地布置的致动器。

相关申请的交叉引用

本申请要求2015年5月12日提交的美国非临时专利申请14/709,856的优先权，其全部内容通过引用整体并入本文。

技术领域

本申请的领域涉及夹紧装置，特别是用于密封反应器系统的环形室和反应室的夹紧装置。

背景技术

多晶硅可以通过在流化床反应器中热分解可热分解的含硅化合物(例如硅烷、三氯硅烷或二氯硅烷)被经济地和相对大规模地生产。这种多晶硅可以用于生产太阳能电池，或者可以根据所谓的直拉法(Czochralski)被进一步加工以生产电子级单晶硅。

多晶硅生产的最新进展涉及使用较高的反应器压力(例如2巴或更高)。这种压力在反应器内产生大的流体静力并且增加密封反应器所需的闭合力。此外，流化床反应器可能以变化的压力操作，这可能导致反应器所需的闭合力变化。

需要用于反应器系统的夹紧装置，其允许更精确地控制所施加的力并且可以适应反应器压力的变化。

本部分旨在向读者介绍可能与下面描述的和/或要求保护的本申请的各个方面相关的技术的各个方面。这种讨论被认为有助于向读者提供背景信息以便于更好地理解本发明的各个方面。因此，应当理解，从这点而言，这些说明是为了用于理解，而不是承认现有技术。

发明内容

本发明的一个方面涉及用于生产反应产物的反应器系统。该系统包括：反应器衬套，该反应器衬套在其内限定出用于接收反应组分的反应室。围绕反应器衬套设置有外壳，在反应器衬套和外壳之间形成环形室。该系统包括用于密封环形室和反应室的密封板和用于夹紧密封板和外壳以将环形室与反应室密封隔离的多个致动器。

本发明的另一方面涉及用于生产反应产物的反应器系统。该系统包括：反应器衬套，该反应器衬套在其内限定出用于接收反应组分的反应室。围绕反应器衬套设置有外壳，在反应器衬套和外壳之间形成环形室。该系统包括用于密封环形室和反应室的密封板和用于夹持密封板以将环形室与反应室密封隔离的致动器。该系统还包括用于测量由致动器施加的力的传感器。

存在与本发明的上述方面相关的特征的各种改进。另外的特征也可以并入本发明的上述方面。这些细化和附加特征可以单独存在或以任何组合存在。例如，下面关于本发明的任何所示实施例说明的各种特征可以单独地或以任何组合结合到本发明的任何上述方面中。

附图说明

图1是具有夹紧装置的反应器系统的立体图；

图2是反应器系统的立体剖面图；

图3是具有带液压缸的夹紧装置的反应器系统的示意图；

图4是图3的夹紧装置的液压缸的局部示意图；

图5是具有液压缸的夹紧装置的另一实施例的示意图；

图6是具有液压缸的夹紧装置的另一实施例的示意图；

图7是具有带电动线性致动器的夹紧装置的反应器系统的示意图；

图8是具有独立控制的三组缸的九缸夹紧系统的示意图；和

图9是具有独立控制的四组缸的八缸夹紧系统的示意图。

所有附图中，相同的附图标记表示相应的部件。

具体实施方式