[发明专利]位置检测装置

权利要求书

1.一种以与被测量物隔开规定的空隙的方式安装的位置检测装置，其特征在于：

所述被测量物具有使所述规定的空隙变化的机构，

所述位置检测装置检测在内部所具有的线圈的电感的变化作为所述变化。

2.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构是使连续的变化产生机构。

3.如权利要求2所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构具有台阶形状或齿轮形状或凹凸形状。

4.如权利要求2所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构是使一个被测量物产生2种以上的空隙的变化的机构。

5.如权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于：

检测在传感线圈和参考用线圈这2个线圈检测出的电感的变化的差，作为所述机构的2种以上的空隙的变化。

6.如权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构中的一部分为圆形另一部分为椭圆形，

由所述参考用线圈检测所述圆形的机构变化，由所述传感线圈检测所述椭圆形的机构变化。

7.如权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于：

设置有使空隙在与所述被测量物的移动方向不同的方向上变化的机构。

8.如权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构包括多个肋状的部分。

9.如权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于：

所述机构的隔着绝缘材料的一侧的材料与另一侧的材料不同。

10.如权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于：

用屏蔽件覆盖与检测所述电感的变化的面不同的面。

11.如权利要求10所述的位置检测装置，其特征在于：

所述屏蔽件由软磁体构成。

12.如权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于：

所述传感线圈和所述参考用线圈形成为一体。

13.如权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于：

所述参考用线圈检测与所述被测量物不同的部位的空隙，

所述传感线圈检测所述被测量物的空隙的变化。

14.如权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于：

所述空隙的变化检测的输出特性具有所述参考用线圈的输出特性和所述传感线圈的输出特性交叉的特性。