[实用新型]一种超纯水生产装置

权利要求书

1.一种超纯水生产装置，包括机构本体，其特征在于，还包括位于所述机构本体内部的保安过滤器，所述保安过滤器的入水口连接预处理模块，

反渗透装置，包括一个或多个反渗透膜组件；从所述保安过滤器中过滤的水通过高压泵进入所述反渗透装置；

电去离子模块，入水口连接所述反渗透装置的出水口；

电阻率检测装置，连接所述电去离子模块的出水口。

2.根据权利要求1所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括电导率检测装置，用于检测所述反渗透装置出水口水的电导率。

3.根据权利要求1所述的超纯水生产装置，其特征在于，所述预处理模块包括通过管路依次连接的第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构；

所述第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构中一个或多个过滤机构的上部均设置有反冲洗装置。

4.根据权利要求3所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括原水泵，所述原水泵的出水口与所述第一过滤机构的入水口连接；同时还连接所述反冲洗装置。

5.根据权利要求3所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括废水排放管路，一端与所述第一过滤机构、第二过滤机构、第三过滤机构中的一个或多个过滤机构的顶部连接，另一端连接有废水收集排放装置。

6.根据权利要求3～5中任意一条所述的超纯水生产装置，其特征在于，所述第一过滤机构为石英砂过滤器；所述第二过滤机构为活性炭过滤器；所述第三过滤机构为软化器。

7.根据权利要求6所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括盐箱，连接所述第三过滤机构。

8.根据权利要求1所述的超纯水生产装置，其特征在于，所述反渗透装置包括多个并联的反渗透膜组件；经保安过滤器过滤的水经多个高压泵进入所述多个并联的反渗透膜组件。

9.根据权利要求1所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括第一回流管路，所述第一回流管路一端连接所述反渗透装置，另一端连接所述预处理模块。

10.如权利要求1所述的超纯水生产装置，其特征在于，还包括第二回流管路，所述第二回流管路一端连接所述电去离子模块，另一端连接所述预处理模块。