[实用新型]一种单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备

权利要求书

1.一种单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、连接板、真空吸盘、一个运动组件、相机；所述运动组件包括一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述多棱镜光路通过连接板与底座连接；

所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接。

2.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述气孔开关位于气孔与真空发生装置连接的真空管路上。

3.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述气孔的行间距和列间距由吸盘主体中间到两边呈均匀递减的形式。

4.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，位于吸盘主体中部区域的气孔的行间距或列间距最大为3.1英寸。

5.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，位于吸盘主体边缘区域的气孔的行间距或列间距最小为5.1mm。

6.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述相机位于真空吸盘上方。

7.根据权利要求1所述的单扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述扫描驱动Y轴位于升降驱动Z轴下方，与升降驱动Z轴连接。