[实用新型]一种带电粒子束系统及光电联合探测系统

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，其特征在于，所述系统包括：粒子源、镜筒和设置有第一真空窗的样品室；其中，

所述粒子源，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射所述样品室放置的待测样品；

所述镜筒包括：用于对所述带电粒子束进行偏转的偏转装置和用于对所述带电粒子束进行聚焦的聚焦装置。

2.根据权利要求1所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括动态密封装置，用于连接所述第一真空窗与所述样品室的外壁。

3.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括与所述第一真空窗连接的第一位移装置，用于对所述第一真空窗的位置进行调节。

4.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括载片，用于承载所述待测样品。

5.根据权利要求4所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括：移动控制装置，用于对所述载片进行平移和翻转。

6.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述镜筒的侧壁设置有第二真空窗，用于将所述系统外部的光束引入至所述镜筒。

7.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括中心设置有小孔的第一反射镜，所述第一反射镜位于所述系统的光学轴线上，所述第一反射镜与所述光学轴线夹角为45°，所述带电粒子束经所述小孔照射至待测样品。

8.根据权利要求6所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括中心设置有小孔的第二反射镜，所述第二反射镜绕一固定轴旋转，所述第二反射镜与所述系统的光学轴线夹角为90°时，所述带电粒子束经所述小孔照射至待测样品。

9.根据权利要求5所述带电粒子束系统，其特征在于，所述移动控制装置中的旋转轴与所述系统的光学轴线垂直相交。

10.根据权利要求4所述带电粒子束系统，其特征在于，所述载片为均匀的透明薄片或具有孔阵列的薄片。

11.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述系统还包括：位于所述镜筒下方的二次粒子探测器或背散粒子探测器；

或，位于所述待测样品下方的可移动式扫描透射粒子探测器。

12.根据权利要求1或2所述带电粒子束系统，其特征在于，所述镜筒底部设置有第三真空窗或压差光阑结构，用于保持所述镜筒与所述样品室间的压强差。

13.一种光电联合探测系统，其特征在于，所述光电联合探测系统包括：带电粒子束系统和光学系统；其中，

所述带电粒子束系统为权利要求1至12任一项所述的带电粒子束系统；

所述光学系统位于所述带电粒子束系统的样品室外部，所述光学系统通过所述第一真空窗对样品进行探测。