[实用新型]一种基于干涉光的厚度对比装置

权利要求书

1.一种基于干涉光的厚度对比装置，由支架(1)、测量缝(2)、转动轴承(3)、固定架(4)、透光单缝(5)、双缝(6)、遮光筒(7)、接光屏(8)、摄像头(9)、滤光片(10)、光源(11)、测量物体(12)组成，所述的测量缝(2)包括固定片(2-1)、测量片(2-2)；所述的透光单缝(5)包括固定缝(5-1)、同步旋转缝(5-2)；所述的透光单缝(5)、双缝(6)、遮光筒(7)、接光屏(8)、摄像头(9)、滤光片(10)、光源(11)在一条直线上；所述的固定片(2-1)、固定缝(5-1)、固定架(4)、透光单缝(5)、双缝(6)、遮光筒(7)、接光屏(8)、摄像头(9)、滤光片(10)、光源(11)固定在支架(1)上；所述的摄像头(9)位于接光屏(8)一端，可以直接对接光屏（8）的色谱进行拍照。

2.根据权利要求1所述的一种基于干涉光的厚度对比装置，其特征在于：所述的测量片(2-2)、同步旋转缝(5-2)与转动轴承(3)连接，测量片(2-2)、同步旋转缝(5-2)可以绕转动轴承(3)同步旋转。