[实用新型]一种对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置

权利要求书

1.一种对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，包括齐焦机构，其特征在于，所述齐焦机构上设有激光对中装置，所述激光对中装置一侧接收射入的激光，另一侧设有光束采样镜片，光束采样镜片反射和透射接收到的激光，所述光束采样镜片反射激光的一侧依次设有可调光衰减器、固定光衰减器和探测器，所述探测器与一图像处理与分析装置连接，所述光束采样镜片透射激光的一侧设有齐焦面。

2.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述齐焦机构内部为空腔结构，外部设有与内部空腔结构连通的通孔，所述激光对中装置设于所述通孔处。

3.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述齐焦面与激光加工位置的面相贴紧，所述齐焦面处安装有水冷装置或风冷装置。

4.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述激光对中装置设于齐焦机构顶部，所述光束采样镜片设于激光对中装置下方，接收激光对中装置处射入的激光，所述光束采样镜片设置角度为0～180度。

5.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述激光对中装置可拆卸安装于通孔处，所述激光对中装置为中心带十字标记的感光线组件或中心为小孔的感光组件。

6.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述可调光衰减器包括角度衰减镜片及用于旋转角度衰减镜片的衰减调节旋钮。

7.根据权利要求6所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述衰减调节旋钮为手动旋钮手轮。

8.根据权利要求6所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述衰减调节旋钮包括用于旋转角度衰减镜片的电机或马达。

9.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述光束采样镜片为楔形镜片或平面镜片。

10.根据权利要求1所述的对激光加工位置中激光光斑测量分析的装置，其特征在于，所述探测器通过数据线或无线连接所述图像处理与分析装置。