[实用新型]大面积平板吸附压印装置

说明书

技术领域

本实用新型属于微纳米器件图案化制作技术领域，具体涉及一种大面积平板吸附压印装置。

背景技术

现有的纳米压印技术主要有三种：热压印技术、紫外线压印技术和微接触纳米压印技术。其中，由于热压印技术固有的升降温过程和高压过程，目前还存在效率低的问题，实用中具有相当的技术难度，而紫外线压印技术是通过在压印胶中掺入光敏物质使得压印胶在紫外光照后可以固化从而实现室温压甲的纳米压印技术，其工艺所要求的压力也大大降低，因此紫外线压印技术是一种比较有前途的纳米图形转换技术，对其进行优化和改进，具有显著的市场价值。目前对其的研究也在逐步展开。

目前的压印都是通过模具直接压制固化胶或者通过滚轮以滚动的方式压制固化胶，但是由于力度的控制等方面的原因，在压印过程中，模具和固化胶之间难以做到更为紧密的贴覆，从而造成固化胶表面形成较多的气泡，影响产品的良率。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以有效克服固化胶表面气泡问题的大面积平板吸附压印装置及压印方法。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

大面积平板吸附压印装置，包括：

软膜模具，其表面设置有压印图案，从软膜模具的纵截面看，压印图案呈锯齿状；

模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，模具驱动部还连接吸 附驱动装置，吸附驱动装置驱动孔体吸附住软膜模具，孔体在驱动面分为四个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个环形孔体组包括多个组成环形的孔体，各个环形孔体组的圆心重合，重合处设有一孔体，四个环形孔体组由内至外形成第一环形孔体组、第二环形孔体组、第三环形孔体组和第四环形孔体组，第一环形孔体组包括十个孔体，第二环形孔体组包括十六个孔体，第三环形孔体组包括二十个孔体，第四环形孔体组包括三十个孔体，模具驱动部为吸盘，吸盘为圆形吸盘，其由气缸或电机驱动沿垂直方向运动；

底板，其上设置有样品和紫外固化灯，样品上涂覆有固化胶。

作为优选的方案，上述的俯视角度下，孔体呈圆形。

采用上述优选的方案，可以实现更佳的吸附效果。

作为优选的方案，上述的孔体的纵截面呈倒置的梯形。

采用上述优选的方案，就像一个桶扣在地上一样，实现更佳的密封性，从而可以实现更佳的吸附效果。

作为优选的方案，上述的吸附驱动装置为真空气泵。

采用上述优选的方案，可以实现更佳的吸附效果。

附图说明

图1为本实用新型的大面积平板吸附压印装置的结构示意图。

图2为本实用新型的大面积平板吸附压印装置中所涉及的模具驱动部的结构示意图。

图3为本实用新型的大面积平板吸附压印装置一种实施方式下的工作示意图。

其中，1.底板 2.样品 3.固化胶 4.软膜模具 5.模具驱动部 51.孔体。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。

为了达到本实用新型的目的，如图1-3所示，在本实用新型的大 面积平板吸附压印装置的一些实施方式中，其包括：软膜模具4，其表面设置有压印图案；模具驱动部5，其驱动面上设置有多个孔体51，模具驱动部5还连接吸附驱动装置(未示出)，吸附驱动装置驱动孔体51吸附住软膜模具4，孔体51在驱动面分为多个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个环形孔体组包括多个组成环形的孔体51，各个环形孔体组的圆心重合，重合处设有一孔体51；底板1，其上设置有样品2，样品2上涂覆有固化胶3。当应用时，还应设置有紫外固化灯等，其属于现有技术可以获知的内容，在此不再赘述。其中，上述的模具驱动部4具体可以为吸盘，其由气缸或电机驱动沿垂直方向运动，上述的吸附驱动装置具体可以为真空气泵。

本实施例提供的大面积平板吸附压印装置，主要设置了软膜模具和模具驱动部，软膜模具表面设置有压印图案，模具驱动部驱动面上设置有多个孔体，模具驱动部还连接吸附驱动装置，吸附驱动装置驱动孔体吸附住软膜模具，孔体在驱动面分为多个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个环形孔体组包括多个组成环形的孔体，各个环形孔体组的圆心重合，重合处设有一孔体；通过上述设置，压印时，模具就像水波纹一样地逐渐贴覆到固化胶上去，克服直接压制所带来的应力等问题，使得贴覆更为轻盈和紧密，从而有效地解决固化胶表面的气泡问题。