[实用新型]基于激光双外差干涉的位移精密测量系统有效
| 申请号： | 201620669547.5 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205785077U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王凯;张娟;任志刚;刘卓;刘洋;武宏璋;孙培强;肖永生 | 申请（专利权）人： | 西安计量技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710068 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 激光 外差 干涉 位移 精密 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
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