[实用新型]大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置有效
| 申请号： | 201620274260.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206010163U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 查虎;郭军;李科;刘莎 | 申请（专利权）人： | 广东宸景光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/362;B23K37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 522013 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大幅面 蚀刻 真空 吸附 平台 实用新型 装置 | ||
【权利要求书】：
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