[实用新型]气流均衡型洁净室

权利要求书

1.一种气流均衡型洁净室，包括洁净室本体和空气系统，所述空气系统产生的气流垂直地从上到下流经洁净室本体的内部空间，其特征在于：所述洁净室本体中设有用于放置生产设备的设备区，所述设备区的上方设有用于阻挡空气系统的气流流经的挡风装置。

2.根据权利要求1所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述洁净室本体由顶板、侧板和底板围合而成；所述空气系统包括设在顶板上的进气器和横向间隔设在顶板下方的进风均衡装置，所述挡风装置包括设在进风均衡装置上的第一挡风板。

3.根据权利要求2所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述空气系统还包括间隔设在进风均衡装置下方的第一空气过滤器，所述挡风装置还包括设在第一空气过滤器上的第二挡风板。

4.根据权利要求3所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述第一挡风板和第二挡风板对称设置，所述第二挡风板的在水平面上的投影完全覆盖设备区。

5.根据权利要求3所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述第一挡风板和第二挡风板均为表面光滑的压缩木质板。

6.根据权利要求3所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述进风均衡装置与底板均设有竖直通风孔，且所述进风均衡装置的通风孔与底板的通风孔相对设置。

7.根据权利要求3所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述底板架空设置在地面上，所述空气系统还包括设在底板下方的排气器和横向间隔设在底板与排气器之间的第二空气过滤器。

8.根据权利要求7所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述第一空气过滤器和第二空气过滤器均为由无纺布叠层在一起的无纺布组件。

9.根据权利要求7所述的气流均衡型洁净室，其特征在于：所述空气系统还包括与进气器连通的进气管道和与排气器连通的排气管道，所述进气管道与排气管道相连接形成气流循环结构。