[实用新型]往复式真空泵

权利要求书

1.往复式真空泵，其特征在于：它包括活塞杆和设于活塞杆端部的活塞，所述活塞置于气缸内，所述气缸内设有活塞运动通道，所述活塞运动通道两侧开设有进气孔，所述气缸顶部设有出气阀，所述出气阀与出气管道连接，所述活塞运动通道中间设置隔板将气缸分成两个腔室，每个腔室内设置半导体制冷组件，所述半导体制冷组件包括半导体制冷片、制冷片散热器和导热胶层，所述半导体制冷片的热面侧装设制冷片散热器，所述制冷片散热器与半导体制冷片的热面触接，所述半导体制冷片的冷面侧与气缸腔室的内壁之间装设有导热胶层。

2.根据权利要求1所述的往复式真空泵，其特征在于：所述活塞运动通道为一筒状件，所述筒状件上口连接支板，所述支板与气缸内壁固定。