[实用新型]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔

权利要求书

1.一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接。

2.根据权利要求1所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述光学窗口包括有高稳定性、高透过率的光学玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述上腔体的制作材料为不锈钢、钛或玻璃钢。

4.根据权利要求1所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述窗口保护腔体的制作材料为不锈钢、钛或玻璃钢。

5.根据权利要求1或4所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述窗口保护腔体的内壁上安装至少一根进气管，且该进气管作为窗口保护气管伸入窗口保护腔体的一端与光学窗口不接触。

6.根据权利要求1所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述低温样品杆包括有低温恒温器和样品台，低温恒温器由冷却装置和加热装置构成。

7.根据权利要求6所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述多通道连接装置采用四通道连接装置，四通道连接装置上还设有电学接口和抽真空装置，通过电学接口与控制系统连接，电学接口还与低温样品杆的冷端的加热装置通过导线连接。

8.根据权利要求1所述的一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：所述超高真空角度可调节装置包括有调节螺母、调节螺栓、连接法兰和波纹管，两个连接法兰之间夹持一根波纹管并通过三组调节螺栓、调节螺母固定。