[发明专利]基于齿形结构的光吸收器有效
| 申请号： | 201611270042.2 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106707382B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 张旭;李宏强;魏泽勇;程凯扬 | 申请（专利权）人： | 东莞同济大学研究院;东莞天卫电磁技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 田小伟 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 齿形 结构 光吸收 | ||
1.基于齿形结构的光吸收器，包含多个回音壁型吸波单元，其特征在于：回音壁型吸波单元包括：
位于底层的金属底层，厚度为：t金属2；
位于中间层的介质层，厚度为t介质； t介质=60~80nm；
位于表层且金属材质的光耦合层，其厚度为t金属1；
t金属1：t介质：t金属2=1：（1.5~3）：（4~7.5）；
所述光耦合层呈矩形设置，且中部设有矩形的耦合孔；光耦合层的4个侧面均设有至少两个矩形耦合凹孔，相邻的两个矩形耦合凹孔之间形成凸齿；位于同一侧面的所有矩形耦合凹孔的长度相等；
光耦合层的4个侧面分为两组，每组两个侧面的所有矩形耦合凹孔形状大小相同，且任意相对的两个侧面的矩形耦合凹孔长度不等；
回音壁型吸波单元呈阵列排列且位于同一平面。
2.根据权利要求1所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：每一侧面的矩形耦合凹孔长度与矩形耦合凹孔至耦合孔的距离相等。
3.根据权利要求1或2所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：矩形耦合凹孔的长度与临近的凸齿的长度相等。
4.根据权利要求1所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：耦合孔呈方形设置，耦合孔的边长a为185~210nm。
5.根据权利要求1所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：光耦合层呈方形设置，介质层覆盖整个光耦合层。
6.根据权利要求3所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：矩形耦合凹孔的长度和宽度之和为60~95nm。
7.根据权利要求4所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：其中一组矩形耦合凹孔的长度为50~70nm；宽度为10~30nm；另一组矩形耦合凹孔的长度为30~45nm，宽度为30~45nm；光耦合层呈方形设置，边长L为330~360nm；回音壁型吸波单元呈方形设置，边长P=370~400nm。
8.根据权利要求1所述的基于齿形结构的光吸收器，其特征在于：金属底层、光耦合层的材质均为银；介质层为熔融石英。
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