[发明专利]定位机构有效
申请号: | 201611261701.6 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN106680548B | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 杨应俊;沈杰;雷迪;柯权珍;邢川川;杨波;王胜利 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人: | 张利杰 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定位 机构 | ||
【说明书】:
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