[发明专利]自动调整紫外激光光束位置的方法

权利要求书

1.一种自动调整紫外激光光束位置的方法，其特征在于，方法步骤如下：

第一步、搭建自动调整紫外激光光束位置的装置：

所述自动调整紫外激光光束位置的装置包括准分子紫外激光器（1）、第一反射镜（2）、电控平移台（3）、第二反射镜（5）、柱面镜（6）、相位掩膜板（7）、光纤（8）、压电陶瓷（4）、光功率计（9）和计算机（10），共光轴依次设置第二反射镜（5）、柱面镜（6）和相位掩膜板（7），第二反射镜（5）通过固定座固定在电控平移台（3）上，固定座上设有压电陶瓷（4），第二反射镜（5）位于第一反射镜（2）的反射光路上，准分子紫外激光器（1）位于第一反射镜（2）的入射光路上，光纤（8）紧贴相位掩膜板（7）且位于入射光线的相反方向，光功率计（9）对准光纤（8）的一端，采集光纤（8）的透射光功率数据，光功率计（9）和压电陶瓷（4）分别与计算机（10）连接，转入第二步；

第二步、打开准分子紫外激光器（1），准分子紫外激光器（1）发出紫外光束，经第一反射镜（2）反射至第二反射镜（5），经第二反射镜（5）反射至柱面镜（6），经柱面镜（6）聚焦至相位掩膜板（7），并入射至光纤（8），使得紫外光束在光纤（8）发生色散，色散产生的荧光经光纤（8）传输，通过光功率计（9）接收光纤（8）上的输出光功率，同时将数据实时传输给计算机（10），转入第三步；

第三步，判断光功率计（9）所接收功率是否出现一个最大值，若不是，计算机（10）反馈一个信号给压电陶瓷（4），转入第四步；

第四步，压电陶瓷（4）接收信号并调整第二反射镜（5），使紫外光束准确的照射在光纤（8）上，使得在光功率计（9）上获得的功率值最大。

2.根据权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的方法，其特征在于：第一步中，所述第一反射镜（2）和第二反射镜（5）均采用镀紫外增反膜的反射镜。

3.根据权利要求1所述的自动调整紫外激光光束位置的方法，其特征在于：第一步中，所述光纤（8）水平放置。