[发明专利]高锰含量铝锰合金靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201611192261.3 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106835033A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘树峰;郑天仓;孙良成;刘小鱼;鲁飞;李静雅;张志宏;白洋;邢正茂;李慧 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含量 合金 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，包括：
制取粉料，粉料化学组分的质量百分比为：铝50～75％，锰25～50％；
称取成型粉料装入模具中，放入热压烧结炉经热压烧结得到铝锰合金靶材坯料；
机加工获得靶材产品。
2.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料采用铝锰合金粉料或者金属铝粉与锰粉的混合物。
3.如权利要求1或者2所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料粒度小于50μm。
4.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：将粉料装入模具中，热压烧结前进行预压紧，压紧压力0.1～5MPa。
5.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：热压烧结过程中，当热压炉内真空度高于1×10-2Pa时开始升温，温度升到350～400℃时保温0.5～1h；继续升温至600～900℃，增加压力至15～30MPa，保温保压1～4小时。
6.如权利要求1所述高锰含量铝锰合金靶材的制造方法，其特征在于：对铝锰合金靶材坯料进行表面磨抛及外形加工处理获得靶材产品。
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