[发明专利]一种用于OLED检测设备的运动平台

说明书

本发明涉及运动平台技术领域，尤其是一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座，所述Y1永磁直线电机与Y2永磁直线电机一侧均设置有Y向机械缓冲器，所述X永磁直线电机一侧设置有X向机械缓冲器，其中Z向微调台包括Z向永磁直线电机、Z向机构、Z向平衡弹簧与Z向载物台，所述Z向载物台一侧设置有楔形块，所述Z向微调台安装有柔性弹片，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。本发能够明保证载物台面在XY的整个运动行程内的垂向准确性，其在检测行程范围内载物台的平面度误差要小于1um，且具有紧凑、精密、高响应的特点。

技术领域

本发明涉及运动平台技术领域，尤其涉及一种用于OLED检测设备的运动平台。

背景技术

检测设备运动平台属于大行程、高精密平台，该系列平台是集精密机械、高精密测量、运动控制等多项技术于一体的复杂系统，运动平台可将一个大面积的待检测物分解为多个视场累加检测，通过控制运动台对OLED面板完成大面积的检测，平台的定位精度、平面度误差以及运行的匀速性决定了设备的检测精度，步进及运行速度决定设备的产率。

现有技术采用的是一种XY方向均采用机械导轨加永磁直线电机的驱动方式，Y向两套驱动装置安装于大理石基座两侧，X向平台安装于Y向的Y1与Y2运动机构上。现有平台全行程内的平面度误差一般都只能做到5-10um，并且需要高精度的机械加工件，以及繁琐的安装来保证。因此，有必要设计一款安装简单且平台有效行程范围内平面度达到1um左右的高精度运动平台。

现有技术的Z向调整台采用在龙门横梁上垂直XY平面安装伺服电机加滚珠丝杆平台来实现微调。该驱动形式体积较大，调整精度低，动态响应慢、特性较差。因此，有必要设计一款满足设备需求的紧凑、精密、高响应特点的Z向调整台。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在动态响应慢、特性较差的缺点，而提出的一种用于OLED检测设备的运动平台。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机、Y2永磁直线电机和X永磁直线电机，所述Y1永磁直线电机与Y2永磁直线电机一侧均设置有Y向机械缓冲器，所述X永磁直线电机一侧设置有X向机械缓冲器，其中Z向微调台包括Z向永磁直线电机、Z向机构、Z向平衡弹簧与Z向载物台，所述Z向载物台一侧设置有楔形块，所述Z向微调台安装有柔性弹片，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。

优选的，所述Z向机构安装有两组机械导轨单元，所述机械导轨单元包括Z1向机械导轨与Z2向机械导轨，其中Z1向机械导轨用于楔形块与底板连接，另外一组Z2向机械导轨用于楔形块与Z向载物台连接。

优选的，所述Z向载物台通过柔性弹片与Z向机构的底板连接。

优选的，Z向机构的所述底板上安装有Z向永磁直线电机定子，且Z向永磁直线电机定子设置在Z向永磁直线电机上，楔形块上安装有Z向永磁直线电机动子。

优选的，所述Z向载物台下端面与Z向机构的底板之间安装有Z向平衡弹簧，此Z向平衡弹簧可补偿Z向载物台与所述真空吸盘的重量。

优选的，所述Z向机构内设置有光栅尺，所述Z向机构中的光栅尺安装于Z向机构的楔形块上，所述底板上还设置有读数头。

优选的，Y向的导向机构为两套高精密的滚柱导轨，且滚柱导轨分别安装于大理石基座Y向的两侧。