[发明专利]一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置

权利要求书

1.一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：它是由两组对称的铜质基体、双面附有对称电极的石英晶片、两块高导热硅胶片、两个半导体制冷器、两个散热器、一个PT100铂热电阻、四个U型支架和四个螺钉组成；铜质基体是由底座和圆柱形支架结合为一体，两组对称的铜质基体扣在一起组成传感装置的主体；一个双面附有对称电极的石英晶片，作为露点的凝结面，也是传感装置里最核心的敏感器件用于提供频率输出值，被扣在一起的两组对称的铜质基体夹住；两块高导热硅胶片，作为圆柱形支架与石英晶片之间的缓冲材料，也作为圆柱形支架向石英晶片传递温度的介质材料，两块高导热硅胶片分别放置在两个铜质基体与石英晶片之间作为铜质基体与石英晶片中间的缓冲和连接部分；两个半导体制冷器，用于给石英晶片提供制冷，分别放置在两个铜质基体的底座部分；两个散热器，分别给两个半导体制冷器的热面进行散热，紧贴于铜质基体的底座并与半导体制冷器的热面相贴；一个PT100铂热电阻，用于测量石英晶片表面的温度，放置在两组对称的铜质基体之间贴于石英晶片的非电极区域；四个U型支架和四个螺钉，用于连接两个对称的基体并将两个基体的底座分别固定在一个散热器上，最终形成一个完整的传感装置。

2.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的两组对称的铜质基体分别是两个非标准尺寸的机械加工件，材质为黄铜，具有极好的导热性能。

3.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的双面附有对称电极的石英晶片选用谐振频率为4MHz～6MHz的表面涂敷有银及金电极的石英晶片。

4.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的两块高导热硅胶片厚度为1mm，导热系数为5w/(m•k)。

5.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的两个半导体制冷器均为TEC1-3104型半导体制冷器。

6.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的两个散热器为热管散热器。

7.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的一个PT100铂热电阻为四线制的精密铂电阻。

8.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的四个U型支架是形状为U型的并且两端有直径为4mm的孔。

9.根据权利要求1所述的一种基于双制冷双敏感面的露点传感装置，其特征在于：所述的四个螺钉直径为4mm。