[发明专利]一种谐振型磁传感器敏感单元及数字频率输出磁传感器

权利要求书

1.一种谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，包括高Q值谐振器、设置在高Q值谐振器上下两侧的磁致伸缩单元；所述磁致伸缩单元在磁场作用下产生磁致伸缩应力并将所述应力加载到所述高Q值谐振器上，所述高Q值谐振器为双端固定的双梁石英音叉谐振器，所述高Q值谐振器与磁致伸缩单元之间设置有绝缘垫片，磁致伸缩单元产生的所述应力通过绝缘垫片的传递加载到所述高Q值谐振器上，石英垫片作为双梁石英音叉谐振器复合到磁致伸缩单元上的传递结构，分别位于上下两个磁致伸缩单元的两端，使得双梁石英音叉谐振器中部的振动梁能够自由振动，并且双梁石英音叉谐振器表面电极与磁致伸缩单元不接触。

2.如权利要求1所述谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，所述高Q值谐振器、绝缘垫片以及磁致伸缩单元之间通过强力胶粘接复合在一起。

3.如权利要求1所述谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，所述绝缘垫片设置在磁致伸缩单元的两端。

4.如权利要求1所述谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，所述高Q值谐振器的电极暴露在所述谐振型磁传感器敏感单元结构之外。

5.如权利要求1所述谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，位于双梁石英音叉谐振器一侧的磁致伸缩单元的长度与双梁石英音叉谐振器的长度相等，位于双梁石英音叉谐振器另一侧的磁致伸缩单元的长度比双梁石英音叉谐振器的长度稍短，从而在磁致伸缩单元与双梁石英音叉谐振器复合后，使双梁石英音叉谐振器的表面电极暴露在外。

6.如权利要求1～5任一所述谐振型磁传感器敏感单元，其特征在于，所述磁致伸缩单元为矩形的磁致伸缩片。

7.一种数字频率输出的谐振型磁传感器，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述敏感单元，还包括多谐振荡器和频率计，高Q值谐振器任意一端的两个电极接入多谐振荡器电路中，多谐振荡器用于输出载有所述高Q值谐振器谐振频率的谐振信号，频率计用于根据所述谐振信号检测出谐振频率。