[发明专利]一种使用负压装置的湿式尾气处理器

说明书

本发明公开了一种使用负压装置的湿式尾气处理器，包括用于对尾气进行清洗的水洗腔，还包括射流器和高压提供装置，所述高压提供装置的高压输出口与所述射流器上高压进口连通，所述射流器的进气口与所述水洗腔的出气口连通。在该使用负压装置的湿式尾气处理器中，因为采用了射流器和高压提供装置，其中尾气从水洗腔的出气口流出后，不需要经过高压提供装置，进而对高压提供装置处的密封要求不是很高，而射流器内部主要是通过高压流体带动气体流动，而不存在运动的部件，不存在动密封，则密封较为容易，进而能够有效地避免尾气泄漏，所以该湿式尾气处理装置能够有效地解决使用传统风机抽吸式湿式尾气处理器容易出现尾气泄漏的问题。

技术领域

本发明涉及尾气处理技术领域，更具体地说，涉及一种使用负压装置的湿式尾气处理器。

背景技术

半导体/液晶面板/光伏太阳能等泛半导体制造行业，会使用到水洗式尾气处理器用于处理氯气、氯化氢、氨气等溶于水的有毒有害工艺废气，使其排放浓度低于国家标准《大气污染物综合排放标准》中规定的大气污染物最高允许排放浓度值，其中水洗式尾气处理器又称为湿式尾气处理器。

目前，通常使用湿式尾气处理器，是一种负压型尾气处理器，目前常见的湿式尾气处理装器，包括水洗腔、向水洗腔内提供水洗液的供液装置和设置在水洗腔出气口处的负压装置，其中负压装置一般采用离心风机。

但是经过发明人长期研究发现，在经过水洗腔水洗之后的尾气，一般还会存在危害周边环境的氢气等气体。而又因为离心机内部的叶片旋转，而需要采用动密封。动密封的密封性一般很低，而且成本非常大，进而导致密封性很难达到要求，所以很容易造成处理后氢气等尾气泄漏，大大危害了周边环境的安全。

综上所述，如何有效地解决湿式尾气处理器容易出现尾气泄漏的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种使用负压装置的湿式尾气处理器，该湿式尾气处理器可以有效地解决传统湿式尾气处理器容易出现尾气泄漏的问题。

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种使用负压装置的湿式尾气处理器，包括用于对尾气进行清洗的水洗腔，还包括射流器和高压提供装置，所述高压提供装置的高压输出口与所述射流器上高压进口连通，所述射流器的进气口与所述水洗腔的出气口连通。

优选地，还包括：具有液体的气液分离腔，所述气液分离腔上设置有出气口；一端与所述射流器的喷口连通、另一端没入所述气液分离腔中液体内的导流管。

优选地，所述高压提供装置的进液口与所述气液分离腔的出液口连通。

优选地，还包括设置有分隔板的水箱，所述分隔板用于将所述水箱的内腔分隔成所述气液分离腔和用于回收所述水洗腔中水洗液的储水腔。

优选地，所述分隔板的底部设置有用于使所述气液分离腔内液体与所述储水腔内液体互通的连通口。

优选地，包括用于向水洗腔中提供水洗液的供液泵，所述供液泵的进液口与所述储水腔连通。

优选地，所述水洗腔内具有多个上下依次设置的喷洒头，各个所述喷洒头的进口均与所述供液泵连通。

优选地，所述射流器的射流通道从高压进口到喷口逐渐下降。

优选地，所述高压提供装置为磁力泵。

优选地，还包括用于检测所述水洗腔内压力的负压传感器，所述高压提供装置根据所述负压传感器测量的压力值调节输出的高压流体的压力值。