[发明专利]转印装置及转印方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种将两个板状体抵接而使被转印物从一板状体向另一板状体转印的转印技术。

背景技术

作为在玻璃基板或者半导体基板等板状体上形成图案或者薄膜的技术，有一种将两个板状体彼此抵接而将承载于一板状体的主表面的图案或者薄膜等被转印物转印到另一板状体的技术。其中一个方法是，利用辊(roller)等，对中间夹有被转印物且接近地对置的两个板状体中的一板状体进行按压，使两个板状体紧贴而转印被转印物的方法。

例如，在本申请人先前公开的专利文献1记载的技术中，承载图案的橡皮布(blanket)载置于中央部开口的画框状的载物台，并且转印辊从下部面侧按压面向开口部的橡皮布。由此，橡皮布按压于与之对置的基板，从而转印图案。在该转印装置中，用于支撑橡皮布的载物台能够进行水平移动，能够利用该功能实施橡皮布和基板之间的对位(对准)。

专利文献1：日本特开2014-184716号公报

上述的现有技术中，在支撑载物台的对准载物台和基架(base frame)之间设置有用于进行对准的可动机构。另一方面，用于支撑并移动转印辊的机构安装于基架。因此，在进行对准调整中载物台移动时，载物台和转印辊之间的相对位置发生变化。本申请的发明人获得了如下新的见解：随着对准调整的结果不同，载物台和转印辊之间的位置关系不恒定，但是对处理结果的好坏，更具体而言，对重合的两个板状体之间的位置精度产生影响。即，即使在对置的两个板状体之间进行对位，也有可能在抵接两者时会发生新的错位。

在应对这种问题方面，上述现有技术还存在改进的余地。当然，只要进行对准调整中的载物台的移动量微小就不会产生大问题。但是，为此，当基板、橡皮布等板状体投入装置时，需要具有比目前更高的位置精度。这有可能成为装置、处理的成本上升的原因。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种在用辊构件进行按压来使两个板状体相抵接的转印装置中，能够抑制使事先已对位的两个板状体相抵接时产生的错位的影响的技术。

为实现上述目的，本发明的一实施方式的转印装置包括：第一保持单元，将第一板状体以下部面开放的状态且以水平姿势保持；第二保持单元，以保持第二板状体的周缘部，并且上述第二板状体的上部面与上述第一板状体的下部面接近地对置的状态，且以上述第二板状体的下部面中的在上部面侧与上述第一板状体对置的中央部开放的状态，保持上述第二板状体；按压单元，具有辊构件和按压机构，上述辊构件在沿着上述第二板状体的下部面的轴向上延伸设置，上述按压机构使上述辊构件一边与上述第二板状体的下部面相抵接并使上述第二板状体按压于上述第一板状体，一边在与上述轴向正交的移动方向上移动；以及对准单元，具有支撑上述第二保持单元和上述按压单元的基座部，上述基座部在水平方向上移动而使上述第二保持单元和上述按压单元一体地相对于上述第一保持单元进行相对移动，由此进行上述第一板状体和上述第二板状体的对准。

此外，本发明的另一实施方式提供一种使用转印装置的转印方法，上述转印装置包括：第一保持单元，将第一板状体以下部面开放的状态且以水平姿势保持；第二保持单元，以保持第二板状体的周缘部，并且上述第二板状体的上部面与上述第一板状体的下部面接近地对置的状态，且以上述第二板状体的下部面中的在上部面侧与上述第一板状体对置的中央部开放的状态，保持上述第二板状体；按压单元，具有辊构件和按压机构，上述辊构件在沿着上述第二板状体的下部面的轴向上延伸设置，上述按压机构使上述辊构件与上述第二板状体的下部面相抵接，并且在与上述轴向正交的移动方向上移动。为实现上述目的，转印方法包括：支撑上述第二保持单元和上述按压单元的基座部在水平方向上移动，使得上述第二保持单元和上述按压单元一体地相对于上述第一保持单元进行相对移动，从而使上述第一板状体和上述第二板状体在规定的相对位置进行对位的工序；上述按压机构使上述辊构件一边与上述第二板状体的下部面相抵接并使上述第二板状体按压于上述第一板状体，一边在上述移动方向上移动，从而使上述第一板状体和上述第二板状体紧贴的工序。

依本发明人的见解，当两个板状体从接近对置的状态重合时，两者最初相抵接的部分的两者的位置关系对整体的重合位置精度产生很大的影响。即，当两个板状体以带着一定量的错位的状态开始抵接时，其错位会波及到整体。这就意味着确保两个板状体最初抵接时的位置精度是非常重要的。