[发明专利]一种激光分能装置

权利要求书

1.一种激光分能装置，其特征在于，包括连续可调扩束镜、分束镜组件、第一聚焦组件、第二聚焦组件；

所述分束镜组件包含与入射激光光轴倾斜设置的空心平面分束镜，其中，所述空心平面分束镜包括空心透射部分和镜面反射部分；

所述连续可调扩束镜对准直入射激光进行扩束后出射准直光束，且所述连续可调扩束镜的扩束比连续可调；

所述空心平面分束镜接收所述出射准直光束后将所述出射准直光束分成两路，一路经过所述空心透射部分透射到所述第一聚焦组件，另一路经过所述镜面反射部分反射到所述第二聚焦组件；

所述第一聚焦组件接收到来自空心平面分束镜的透射光束后进行聚焦，并作用于第一工作面上；

所述第二聚焦组件接收到来自空心平面分束镜的反射光束后进行聚焦，并作用于第二工作面上；

其中，所述第一聚焦组件上设置第一防护罩；

所述第二聚焦组件上设置第二防护罩。

2.如权利要求1所述的激光分能装置，其特征在于，所述空心平面分束镜法线与入射光轴呈±(10°～80°)范围内夹角设置。

3.如权利要求1所述的激光分能装置，其特征在于，所述分束镜组件还包括镜组壳体与反射镜镜座，该镜组壳体一侧设置有激光入射端口，另一侧设置有与激光入射端口同轴的激光透射端口；所述镜组壳体的底部设置有激光反射端口；

所述反射镜镜座设置于镜组壳体内部，所述空心平面分束镜固定于所述反射镜镜座上。

4.如权利要求3所述的激光分能装置，其特征在于，所述的镜组壳体内部设置有消光螺纹。

5.如权利要求3所述的激光分能装置，其特征在于，所述空心平面分束镜透射光束的光路上设置第一遮光器；所述空心平面分束镜反射光束的光路上设置第二遮光器。

6.如权利要求1-5任意一项所述的激光分能装置，其特征在于，所述的空心平面分束镜后表面具有楔角。

7.如权利要求1所述的激光分能装置，其特征在于，所述的连续可调扩束镜和/或第一聚焦组件和/或第二聚焦组件的内部光学元件镀高损伤阈值增透膜；

所述空心平面分束镜镜面镀高损伤阈值的高效反射膜。