[发明专利]激光处理装备中用于减少斑纹的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，所述设备包含：

空间解相关器，所述空间解相关器包含多个透镜，所述透镜具有从第一表面到第二表面的光学路径，并且所述透镜被定位以在所述第二表面处产生合成图像，其中所述多个透镜中的每个透镜接收入射能量的一部分并将所述一部分投射至所述合成图像上；以及

时间解相关器，所述时间解相关器包含多个折射窗格，所述折射窗格具有从第三表面到第四表面的光学路径，其中：

所述第三表面被光学耦接到所述多个透镜的所述第二表面，并且

所述多个折射窗格包括不同的折射率或者所述多个折射窗格的所述光学路径具有不同的长度。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述第二表面覆盖所述第三表面。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述多个折射窗格包括不同的折射率并且所述多个折射窗格的所述光学路径具有不同的长度。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述多个折射窗格包括内部具有折射性液体或气体的窗格状容器。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述折射窗格中的至少两个折射窗格具有不同的厚度。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述折射窗格中的至少两个折射窗格由不同的材料制成。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述时间解相关器进一步包含多个界面表面，所述界面表面介于所述折射窗格之间，并且所述界面表面中的至少一个界面表面包含由空间分隔的两个平行的表面。

8.根据权利要求1所述的设备，其中至少一个折射窗格的边缘被反射材料围绕。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述折射窗格在横向于所述光学路径的一个或者两个方向上错开。

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述折射窗格每一个都相对于其相邻的窗格在一个方向上以均匀的节距距离错开。

11.一种设备，所述设备包含：

空间解相关器，所述空间解相关器包含多个透镜，所述透镜具有从第一表面到第二表面的光学路径，并且所述透镜被定位以在所述第二表面处产生合成图像，其中所述多个透镜中的每个透镜接收入射能量的一部分并将所述一部分投射至所述合成图像上；以及

时间解相关器，所述时间解相关器包含多个折射窗格，所述折射窗格具有从第三表面到第四表面的光学路径，其中：

所述第三表面被光学耦接到所述多个透镜的所述第二表面，并且

所述多个折射窗格包括具有不同的长度的多个光学路径。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述折射窗格中的至少两个折射窗格具有不同的厚度。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述折射窗格在横向于所述光学路径的一个或者两个方向上错开。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述折射窗格每一个都相对于其相邻的窗格在一个方向上以均匀的节距距离错开。

15.根据权利要求14所述的设备，其中至少一个折射窗格的边缘被反射材料围绕。