[发明专利]基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法

权利要求书

1.一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法，其特征在于：该基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法具体步骤如下：

S1：清洗干燥：将需要制备氧化层的医疗器械挑选出来，除去表面附着的尘埃和油污污染物，放置到特定的医疗器械清洗消毒装置中进行清洗和干燥操作；

S2：氧化物选择：选择合适的氧化物，其中将氧化铝、氧化硅、氧化钛、氧化锡和氧化锌常见的氧化物存储已备用；

S3：通入气体：选择合适尺寸的夹具，经过消毒干燥后将医疗器械放置到ALD工作内腔中，调节好ALD沉积中的工作温度、载气流量和载气压力，其中工作温度设定在25-300℃，载气流量设定在500-1000sccm，将ALD工作室抽真空，并且通入惰性气体进行清扫操作；

设定好各个数值后向ALD工作内腔中通入易挥发的卤化物ALD前驱体化合物蒸汽，待化合物蒸汽稳定好再次向ALD工作内腔中通入臭氧，并且同时用氧气探测器测量氧气分压，待反应结束后向ALD工作内腔中通入惰性气体，后对ALD工作室进行吹扫清洗工作；

S4：厚度选择：按照S3步骤重复操作，以此来改变医疗器械表面的沉积厚度；

S5：固化操作：将S3步骤中ALD工作温度进行调节至适当的范围，将医疗器械取出，常温下放置2-4h，然后放入到固化炉中，添加氦气为介质，将固化炉升温，其中温度设定在180-200℃，在此温度下处理5-6h；

S6：抗菌处理：将S5步骤中的医疗器械取出冷却，取质量比为1％-10％钛酸酯放入到搅拌容器中，加入溶解剂搅拌，并且在加入溶解剂的同时依次加入质量比为1％-10％的盐酸、水、硅化合物、质量比为0.1％-1％的分散剂、质量比为0.1％-1％的硝酸银和质量比1％-4％的硝酸锌进行充分搅拌，制得抗菌涂料，将冷却后的医疗器械放置到搅拌好的抗菌涂料溶液中，做向上和向下的均匀提拿操作，然后放置到烘干设备中进行烘干操作，其中烘干温度设定在30-80℃，将烘干后的医疗器械放置于煅烧设备中，在200-300℃的温度下煅烧20-50h，取出后自然冷却到室内温度，取出后得到具有抗菌图层和氧化物陶瓷的医疗器械。

2.根据权利要求1所述的一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法，其特征在于：所述步骤S3中氧气探测器显示的探头电压为900-950mV。

3.根据权利要求1所述的一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法，其特征在于：所述步骤S3中通入的惰性气体为氮气，并且在通入氮气所使用的设备上安装有节流阀，其中，节流阀的开口率控制在30％-60％。

4.根据权利要求1所述的一种基于ALD技术在医疗器械上制备氧化层的节能型方法，其特征在于：所述医疗器械为金属材质的植入型医疗器械。