[发明专利]气体浓度分析系统

说明书

一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

技术领域

本发明关于一种气体浓度分析系统。

背景技术

当一般的气体感测装置用于量测真空工艺腔体的氧气浓度时，仅能获得腔体内氧气浓度的读值。然而，有些真空工艺的压力变化幅度相当大，当气体感测装置所侦测到的氧气浓度变化是在压力持续变化情况下的读值，因气体感测装置的读值不是在同一个基准(例如在相同压力区间或是相同腔体环境下)获得，因此难以准确分析出是何种原因造成氧气浓度的变化。再者，一般在真空腔体中,会用残余气体分析仪(RGA)来量测气体浓度，但残余气体分析仪(RGA)通常须在10^-4Torr下的压力才能进行量测。

“现有技术”段落只是用来帮助了解本发明内容，因此在“现有技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成所属技术领域中具有通常知识者所知道的习知技术。在“现有技术”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本发明一个或多个实施例所要解决的问题，在本发明申请前已被所属技术领域中具有通常知识者所知晓或认知。

发明内容

本发明提供一种于气体浓度分析系统。

本发明的其他目的和优点可以从本发明所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为达到上述之一或部份或全部目的或是其他目的，本发明的一实施例提供一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

藉由上述实施例的设计，因控制单元可接收气体感测装置的待测气体浓度值、压力侦测装置的压力值及阀门动作感知器的阀门动作信号并进行运算，因此每个量测到的气体浓度均可得知其对应的压力值或腔体环境，因此可在同一个基准(例如在相同压力区间或相同腔体环境)下比较气体浓度的变化，建立对应不同真空压力范围或不同腔体环境的真空工艺阶段的气体浓度指标，且便于分析于不同真空压力阶段或不同腔体环境下的气体浓度与真空工艺间的相互影响。再者，于气体感测装置与腔体之间若设有一隔离阀，可获得例如避免某些工艺气体会造成气体感测装置损坏、或者可于特定压力范围、特定腔体环境或特定气体浓度下进行气体浓度侦测等效果。

本发明的其他目的和优点可以从本发明所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1为本发明一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图2为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图3为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图4为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图5为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图6为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

图7为本发明另一实施例的气体浓度分析系统的示意图。

符号说明

10、10a、10b、10c、10d、10e 气体浓度分析系统