[发明专利]一种等离子体电极光开关结构

说明书

本发明公开了一种等离子体电极光开关结构，其特征在于：不锈钢导管通过密封圈、密封压环、密封螺母连接；所述不锈钢导管与铜网圆片连接，所述密封压环分别设置在密封圈的外部，所述密封螺母固定设置在不锈钢导管的左端外壳和密封压环上，密封螺母所述固定设置在不锈钢导管的右端外壳和密封压环上。本发明体积小、结构紧凑、使用方便，成本低廉，耐用度高，能有效中和高电导率等离子体、阻断高压脉冲的对地泄漏电流，有效保护操作人员及真空机组的安全。

技术领域

本发明涉及等离子体电极技术领域，特涉及一种等离子体电极光开关结构。

背景技术

目前，采用动态平衡的方式保持腔内的气压，由于要求工作气压很低，高压带电等离子体很容易被抽进真空泵，导致电流泄漏，两端电压降低，并容易打坏真空泵，造成伤亡和损坏。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种结构简单、成本低、安装方便的等离子体电极光开关结构。

本发明的技术方案为：一种等离子体电极光开关结构，其特征在于：不锈钢导管通过密封圈、密封压环、密封螺母连接；所述不锈钢导管与铜网圆片连接，所述密封压环分别设置在密封圈的外部，所述密封螺母固定设置在不锈钢导管的左端外壳和密封压环上，密封螺母所述固定设置在不锈钢导管的右端外壳和密封压环上。

本发明的优点：

本发明体积小、结构紧凑、使用方便，成本低廉，耐用度高，能有效中和高电导率等离子体、阻断高压脉冲的对地泄漏电流，有效保护操作人员及真空机组的安全。

附图说明

下面结合附图及实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为等离子体电极光开关结构的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明的技术方案为：一种等离子体电极光开关结构，其特征在于：不锈钢导管通过密封圈、密封压环、密封螺母连接；所述不锈钢导管与铜网圆片连接，所述密封压环分别设置在密封圈的外部，所述密封螺母固定设置在不锈钢导管的左端外壳和密封压环上，密封螺母所述固定设置在不锈钢导管的右端外壳和密封压环上。

最后应当说明的是，以上实施例仅用于说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。