[发明专利]用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置以及方法在审
| 申请号： | 201611133623.1 | 申请日： | 2016-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN108227113A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 方斌;田伟;苗二龙;隋永新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/192 | 分类号： | G02B7/192;G02B7/198;G02B7/18;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜光学 镜框 电阻片 柔性支撑 柔性支撑结构 角度调整 控制板卡 像差补偿 调整架 自身重力作用 补偿反射镜 固定螺钉 光学检测 螺钉固定 线缆连接 元件连接 低应力 亚纳米 像差 背面 支撑 | ||
1.一种用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置，其特征在于，包括：
柔性支撑镜框，柔性支撑结构，镜框调整架，电阻片，控制板卡，及固定螺钉；
所述柔性支撑镜框通过所述柔性支撑结构与反射镜光学元件连接；
所述镜框调整架与所述柔性支撑镜框通过所述固定螺钉固定连接；
所述电阻片与反射镜光学元件的背面共面；
所述控制板卡通过线缆连接所述电阻片，用于控制所述电阻片的温度。
2.根据权利要求1所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述电阻片为扇形电阻片或半圆形电阻片。
3.根据权利要求2所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述电阻片的数量为2个或2个以上，所述电阻片上下布置，当所述电阻片为扇形电阻片时，所述扇形电阻片的边连线与重力方向垂直；当所述电阻片为半圆形电阻片时，所述半圆形电阻片的直径方向与重力方向垂直。
4.根据权利要求1所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述镜框调整架包括接口板、背板和2个固定角度支撑板，所述柔性支撑镜框通过螺钉安装到接口板上，所述背板和接口板之间通过球轴承及角度调整细牙螺钉调整角度后再通过角度锁紧螺钉锁紧。
5.根据权利要求1所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述柔性支撑结构为柔性气囊、粘胶或挠性支撑中的一种。
6.根据权利要求1所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构胶粘在所述柔性支撑镜框上。
7.根据权利要求1所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述柔性支撑镜框上设置有狭缝结构，且所述狭缝结构与所述固定螺钉的位置对应。
8.根据权利要求6所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述狭缝结构为弧形狭缝。
9.根据权利要求7所述的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置，其特征在于，所述狭缝结构有三个，且均匀布置在所述柔性支撑镜框上。
10.一种反射镜光学元件重力变形补偿方法，其特征在于，将反射镜光学元件安装在如权利要求1-9任一项的用于反射镜光学元件角度调整及补偿的装置上，所述反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构连接在所述柔性支撑镜框上，所述镜框支调整架提供45°的支撑角度使得所述反射镜光学元件与所述柔性支撑镜框之间呈45°。
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