[发明专利]一种多功能管式气氛反应器

权利要求书

1.一种多功能管式气氛反应器，包括腔体(1)、底座(19)和真空泵(20)，其特征在于：所述腔体(1)的内部安装有石英管(2)，所述石英管(2)一侧安装有保温棉(13)，所述保温棉(13)顶端安装有铝箔(12)，所述腔体(1)的顶端安装有通气支管(5)，所述通气支管(5)的内部安装有橡胶塞(10)，所述橡胶塞(10)内部设置有热电偶(4)，所述热电偶(4)一侧安装有红外测温仪(3)，所述腔体(1)的顶端设置有磁控管(6)，所述腔体(1)的内部安装有硅碳棒(7)，所述腔体(1)的一侧安装有环型锁片(11)，所述环型锁片(11)的底端安装有底座(19)，所述环型锁片(11)内部设置有螺栓(30)，所述底座(19)与环型锁片(11)通过螺栓(30)固定连接，所述腔体(1)的侧面安装有真空传感器(21)，所述腔体(1)底端安装有真空泵(20)，所述石英管(2)的一侧安装有金属炉门(15)，所述金属炉门(15)内部设置有气管(14)，所述金属炉门(15)一侧安装有气管阀(16)，所述腔体(1)内部设有坩埚(9)，所述坩埚(9)一侧安装有保温体(8)，所述底座(19)底端安装有控制盒(17)，所述控制盒(17)一侧设置有导线(22)，所述控制盒(17)与真空泵(20)通过导线(22)电性连接，所述底座(19)一侧安装有支撑杆(18)，所述底座(19)内部安装有螺钉(21)，所述控制盒(17)一侧安装有气压表(23)，所述气压表(23)与所述底座(19)通过螺钉(36)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：所述控制盒(17)的内部安装有温度传感器(24)，所述控制盒(17)内部设置有控制板(25)。

3.根据权利要求1所述的一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：所述控制盒(17)的一侧设置有接电孔(27)，所述接电孔(27)的一侧安装有控制开关(26)。

4.根据权利要求1所述的一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：所述真空泵(20)的底端安装有支撑片(35)，所述真空泵(20)顶端安装有把手(28)，所述真空泵(20)与所述底座(19)通过支撑片(35)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：所述真空泵(20)的内部设置有电机(34)，所述电机(34)一侧安装有压力显示器(32)。

6.根据权利要求1所述的一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：所述真空泵(20)顶端设置有真空油孔(29)，所述真空油孔(29)一侧安装有压缩机(31)，所述真空泵(20)侧面设置有出气管道(33)，所述真空泵(20)与腔体(1)通过出气管道(33)固定连接。