[发明专利]一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜

说明书

一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜，阀头包括活动件以及活动件支撑装置，该活动件具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活动件背向所述固定件的一侧设有第一容纳槽；活动件支撑装置具有适于嵌入所述第一容纳槽的球面，所述球面与所述第一容纳槽的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件的方向上支撑所述活动件相对所述固定件浮动。本发明提供的阀头，加工难度低，调节灵敏度高，能够消除两个平面各个方向上的平行度误差，从而使两个密封平面充分贴合，具有该阀头的平行误差自动补偿装置，及具有该补偿装置的电镜能够保证密封的重复度。

技术领域

本发明涉及误差自动补偿技术领域，更具体地涉及一种阀头、具有该阀头的平行误差自动补偿装置以及电镜。

背景技术

扫描电镜是利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描以得到二次电子图像或背散射电子图像的电子光学仪器，电子束由电子枪发射出来到样品表面的路径，我们称之为光路，光路的中间称之为光轴，电子束由电子枪发出经过镜筒最后达到样品室的样品上，在实际使用过程中，样品的更换频率比较高，而场发射电子枪属于长期工作制的电子枪，电子枪的电流一旦加载，没有特殊情况下是始终保持加热状态的，工作状态下的电子枪需要很高的真空度，一旦真空度下降会对电子枪造成无法修复的损伤，所以要想保证在更换样品的时候保持镜筒内的高真空状态，必须在换样品的时候将样品室与镜筒的高真空部分隔离开来，完成该部分功能的装置叫镜筒隔断阀。一般电镜的镜筒隔断阀都配有自动控制模式，镜筒隔断阀在使用过程中不断的开启关闭，对密封的重复度要求很高，这就要求在设计该隔断阀时必须要尽可能的消除各种误差，以使两个密封面能够保证平行，从而来保证每次的密封性能。

现有技术中存在用于调节密封面的平行度误差的装置，例如中国专利文献CN202305504U公开了一种用于真空环境中直触式探测物料表面参数的窗式装置，包括一种调节活动密封盖与密封托板的平行度的调节机构，以确保密封托板与密封窗内侧真空外壳壁在受压情况下，两个密封面的平行度，该调节机构包括设置于密封托板下表面的万向球坑，以及设于万向球坑内的万向球头，万向球头设于直线滑杆端部，偏心轮经连杆驱动直线轴承内的直线滑杆做直线往复运动，滑杆端部的万向球头顶入万向球坑，调节两个密封面的平行度。该现有技术应用于精密仪器的密封面平行度调节过程中，还存在以下缺陷：1.在精密仪器的微小零部件上进行球面加工，加工难度高；2.球坑与球面的面接触摩擦阻力大，密封面的调整所需推动力大，造成密封面调整的灵敏度低。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中阀头的加工难度高、调节灵敏度低的缺陷，从而提供一种灵敏度高且便于加工的阀头。

进一步提供一种具有上述阀头的平行误差自动补偿装置。

进一步提供一种具有上述平行误差自动补偿装置的电镜。

本发明采用的技术方案如下：

一种阀头，包括：活动件，具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活动件背向所述固定件的一侧设有第一容纳槽；活动件支撑装置，具有适于嵌入所述第一容纳槽的球面，所述球面与所述第一容纳槽的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件的方向上支撑所述活动件相对所述固定件浮动。

所述第一容纳槽为圆柱形凹槽。

所述活动件支撑装置包括嵌入所述第一容纳槽的支撑球以及用于支撑所述支撑球的支撑座，所述支撑座上成型有适于容纳所述支撑球的第二容纳槽，所述第一容纳槽与所述第二容纳槽的轴向深度之和小于所述支撑球的直径。