[发明专利]端面耦合光栅芯片级多环波导腔级联矢量高灵敏声传感器在审
| 申请号： | 201611093434.6 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106382980A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 闫树斌;张彦军;赵学峰;张志东;崔建功;薛晨阳;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 端面 耦合 光栅 芯片级 波导 级联 矢量 灵敏 传感器 | ||
【说明书】：
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