[发明专利]一种基于微纳光纤的温控可调谐光纤滤波器及其制作方法

权利要求书

1.一种基于微纳光纤的温控可调谐光纤滤波器的制作方法，其特征是：该基于微纳光纤的温控可调谐光纤滤波器至少包括：微纳光纤（1）和平板光波导（2），所述的微纳光纤（1）由单模光纤（3）通过熔融拉锥工艺制成两端直径不变，中间为微纳量级的腰区结构，细腰区长度至少大于或等于平板光波导（2）的长度，将微纳光纤（1）与平板光波导（2）通过光学胶（4）黏贴制成波导耦合结构；所述的微纳光纤(1)与平板光波导(2)通过光学胶（4）黏贴在玻璃基底（5）上；所述的微纳光纤（1）与平板光波导（2）通过光学胶（4）粘合在一起，光学胶（4）将微纳光纤的细腰区完全包裹起来；所述的微纳光纤（1）与平板光波导（2）通过光学胶（4）包裹在一起，固定在温控腔体(6)内；所述的温控腔体(6)的温控采用半导体温度控制芯片、热敏电阻以及温度自动控制电路；通过实时检测热敏电阻得到温度反馈值，产生半导体温度控制芯片的控制电流信号，调节半导体温度控制芯片的工作电流方向及大小，对滤波器进行加热或制冷；所述耦合间距为0.2μm；所述平板光波导(2)材料为聚甲基丙烯酸甲酯，长宽厚分别为10mm×5mm×0.02mm，此厚度下光纤滤波器的自由光谱为100nm；所述微纳光纤（1）的腰区直径为2μm；所述光学胶（4）为硅凝胶，折射率为1.40；

该方法至少包括如下步骤：

①通过熔融拉锥工艺将单模光纤（3）拉锥到微纳量级，形成带尾纤的微纳光纤（1），控制微纳光纤（1）的拉锥长度，得到具有不同腰区直径的微纳光纤(1)；

②将制得微纳光纤(1)的腰区置于在平板光波导(2)上，并控制微纳光纤(1)与平板光波导(2)之间的耦合间距使其形成弱波导耦合结构；

③将步骤②中得到的耦合结构整体固定在玻璃基底(5)，并采用低折射率的光学胶(4)将微纳光纤(1)与平板波导耦合结构完全封装起来；

④待光学胶(4)固化后，将制得的耦合结构密封在温控腔体(6)内。