[发明专利]压印装置和物品的制造方法

说明书

本发明涉及压印装置和物品的制造方法。用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括多个对准观察仪和控制单元。控制单元基于来自多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准。多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息。控制单元基于从多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息控制压射区域与模具的对准。

技术领域

本公开涉及压印装置和物品的制造方法。

背景技术

用于通过使用模具形成图案的压印装置受到关注。压印装置使模具与供给到基板上的压印材料接触并且在这种状态下使压印材料硬化。在通过使用压印装置在定义了压射区域的基板上形成附加层时，必须使模具与基板的压射区域对准。可通过用对准观察仪(alignment scope)检测在基板上形成以指示压射区域的位置的标记与在模具上形成以指示模具的位置的标记的相对位置，执行对准。一般地，在一个压射区域中形成多个标记，并且，还在模具上形成多个标记。压射区域中的标记中的一个和模具上的标记中的一个构成标记对，并且，对于各标记对检测压射区域中的标记与模具上的标记之间的相对位置。

为了有效地检测多个标记对的相对位置，压印装置可包含多个对准观察仪。日本专利No.4185941公开了包括多个对准观察仪的压印装置。

从对准观察仪输出的诸如图像信号的信息可包含各种不正确信息。例如，压射区域中的标记可具有起因于可产生不正确信息的处理的变形和不均匀厚度。并且，当异物粒子附着到基板或模具时，可产生不正确信息。即使不正确信息包含于从对准观察仪输出的用于对准压射区域和模具的多个标记对的多条信息中，常规的压印装置也没有执行不使用不正确信息的处理。因此，可能基于受基于不正确信息检测的不正确的相对位置影响的不正确的对准信息，控制压射区域和模具的对准。这可导致压射区域和模具的对准精度低。

发明内容

根据本公开的一个方面的用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括：多个对准观察仪和控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且其中，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准。

从参照附图对示例性实施例的以下描述，本发明的其它特征将变得清晰。

附图说明

图1A是示意性地示出根据本公开的实施例的压印装置的构成的示图。

图1B是示意性地示出根据本公开的另一实施例的压印装置的构成的示图。

图2是示出由压射区域中的标记(第一标记)和模具上的标记(第二标记)构成的标记对的示图。

图3A是示出压射区域中的标记(第一标记)的例子的线/空间图案的示图。

图3B是示出模具上的标记(第二标记)的例子的线/空间图案的示图。

图3C是示出通过对准第一标记和第二标记获取的波纹的示图。

图3D是示出波纹信号的示图。

图3E是示出基于图3C中的波纹计算的指标的例子的示图。

图4A是示出压射区域的布局的例子的示图。

图4B是示出压射区域的布局的另一例子的示图。

图5是根据本公开的实施例的压印操作的流程图。

图6是根据变更例的压印操作的流程图。

图7A是示出波纹信号的例子的示图。