[发明专利]一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置及制备方法在审
| 申请号： | 201611056334.6 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106587041A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 任天令;宁柯瑜;刘厚方;鞠镇毅;程荆磊;杨轶 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C01B32/198 | 分类号： | C01B32/198;C01B25/00;C01G41/00;C01B19/04;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y70/00;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 汤财宝 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 喷墨 打印 技术 薄膜 制备 装置 方法 | ||
1.一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：其包括顶板(2)和对应于顶板(2)设置的底板(3)，所述顶板(2)的下端面安装有面向所述底板(3)、由控制装置(1)控制而移动位置的喷头阵列(4)。
2.如权利要求1的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述顶板(2)的一侧安装有盛装试剂的储液盒(5)，所述试剂通过连接所述储液盒(5)与喷头阵列(4)的输液管进入喷头阵列(4)的喷头(41)。
3.如权利要求2的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述喷头(41)包括微型试剂储存器和设置于所述微型试剂储存器一端的喷嘴。
4.如权利要求3的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述喷头(41)的微型试剂储存器的侧面设置有控制所述喷头(41)喷射试剂的换能器。
5.如权利要求3的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述喷嘴的尺寸为20μm-30μm。
6.如权利要求2的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述输液管上设置将所述储液盒(5)中的试剂泵送至喷头阵列(4)的试剂泵。
7.如权利要求1的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备装置，其特征在于：所述底板(3)的上端面设置由所述控制装置(1)控制的、且面向所述喷头阵列(4)的可移动平台(6)。
8.一种基于喷墨打印技术的薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、配置制备薄膜的试剂，并将该试剂装入所述储液盒(5)中；
S2、将基底固定放置于可移动平台(6)上；
S3、根据预设的薄膜生长形状，控制装置(1)控制喷头阵列(4)和可移动平台(6)移动至合适的位置；
S4、储液盒(5)中的试剂进入到喷头阵列(4)中，控制装置(1)控制喷头阵列(4)的喷头(41)，将试剂喷射至基底上，制备得到薄膜。
9.如权利要求8的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备方法，其特征在于，还包括步骤S5：控制喷头阵列(4)中喷头(41)的喷射试剂的次数，调整制备得到的薄膜的厚度。
10.如权利要求8的一种基于喷墨打印技术的薄膜制备方法，其特征在于，还包括步骤S6：将步骤S4中制备得到的薄膜进行加热处理。
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