[发明专利]一种基于雾化颗粒的水溶解微纳加工装置

权利要求书

1.一种基于雾化颗粒的水溶解微纳加工装置，其特征在于：包括加压夹持单元、供雾扩散单元和风淋加工单元；所述的加压夹持单元位于供雾扩散单元上方，风淋加工单元位于加压夹持单元与供雾扩散单元之间；

所述的加压夹持单元包括球头组件(5)、销(4)、夹持盘(3)和螺旋夹紧机构(2)；所述的球头组件(5)顶部与机床运动主轴固定连接，将机床的动力及载荷传递给加压夹持单元；球头组件(5)底部与夹持盘(3)顶部通过销(4)连接；夹持盘(3)底部固定连接螺旋夹紧机构(2)，螺旋夹紧机构(2)有多组，沿周向均布在夹持盘(3)底部，用于夹紧晶体工件(1)；

所述的供雾扩散单元包括底板(6)、支撑梁(8)、加强筋组件(7)、密封圈(9)、支撑板(10)、雾化颗粒入口(13)、超声雾化发生装置(14)、加工介质扩散腔(12)、漏斗形收集构件(11)和可移动工作台(15)；所述的可移动工作台(15)位于供雾扩散单元的底部，与上方底板(6)通过螺纹固定连接；底板(6)上表面四周边缘位置与四根长度相等的支撑梁(8)固定连接；加强筋组件(7)环绕安装在四根支撑梁(8)的中上部，用于提高供雾扩散单元的刚度及稳定性；四根支撑梁(8)的顶部与支撑板(10)下表面固定连接；支撑板(10)上表面开有圆环形凹槽，圆环形凹槽内放置密封圈(9)；支撑板(10)中心部位开有圆形通孔，圆形通孔与漏斗形收集构件(11)的上方开口固定连接；漏斗形收集构件(11)底部与雾化颗粒入口(13)固定连接；雾化颗粒入口(13)下方设置超声雾化发生装置(14)，超声雾化发生装置(14)通过气动管路与雾化颗粒入口(13)连接；

所述的风淋加工单元包括带孔磨抛板(16)、风淋装置(17)、固定管卡(18)和螺纹连接组件(19)；所述的带孔磨抛板(16)的边缘部位均匀分布有四个通孔，通过四个通孔及螺纹连接组件(19)与供雾扩散单元中的支撑板(10)固定连接；带孔磨抛板(16)表面分布有“倒置漏斗”结构的微孔(20)；风淋装置(17)位于带孔磨抛板(16)上表面靠近一侧边缘的位置，通过分布在其两端的两组固定管卡(18)固定在带孔磨抛板(16)上。

2.根据权利要求1所述的一种基于雾化颗粒的水溶解微纳加工装置，其特征在于：所述的螺旋夹紧机构(2)为3-4组。