[发明专利]冷却装置

说明书

本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。冷却装置(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。

技术领域

本发明涉及对冷却对象进行冷却的冷却装置。

背景技术

成膜装置、蒸镀装置等真空处理装置具备低温机构，低温机构通过使装置内的气体凝结而将其捕捉，从而对真空处理装置内进行减压(例如，参照专利文献1)。另外，在真空处理装置中，使用例如通过热辐射对作为处理对象的基板进行冷却的冷却板(例如，参照专利文献2)。通过冷却板被在配置于冷却板的内部的配管流动的冷却水冷却，冷却板的与基板相对的相对面从基板吸热，从而冷却基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-166477号公报

专利文献2：日本特开2005-332619号公报

但是，还已知有一种冷却装置，冷却板与低温机构连接，冷却板被低温机构冷却。在这样的冷却装置中，由于作为冷却部件的冷却板还作为冷槽执行功能，所以冷却部件的与基板相对的相对面除了冷却基板，还成为气体凝结的对象。并且，当气体的凝结在冷却部件的相对面上进行时，相对面的辐射率下降，其结果，从基板吸热的效率也下降。

另外，这样的情况即使在冷却部件被包括上述的冷却水的冷媒冷却到气体凝结的程度的冷却装置也同样会产生。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。

根据一个方式的冷却装置具备：冷却部件，其包括吸热面和凝结面；以及冷却部，其与所述凝结面连接。所述冷却部件包括第1部分和热阻比所述第1部分高的第2部分，在所述冷却部件中，在从所述凝结面朝向所述吸热面的方向上排列所述第1部分和所述第2部分。

根据上述构成，在冷却部件中的热传导率高的第2部分中，吸热面与凝结面之间的热传导被妨碍。因此，与整个冷却部件上的热阻相同的构成相比，在吸热面与凝结面之间容易形成稳定的温度差。由此，在凝结面上凝结气体的同时，在吸热面上则不容易凝结气体，其结果，抑制冷却装置中的冷却效率下降。

在一个实施方式中，所述冷却部件也可以由包括所述吸热面的吸热部件和包括所述凝结面的凝结部件构成。所述吸热部件也可以在与所述吸热面相反侧的位置上具有与所述凝结部件相对的吸热相对面，所述凝结部件也可以在与所述凝结面相反侧的位置上具有与所述吸热部件相对的凝结相对面。在这种情况下，优选地，所述吸热部件的所述吸热相对面与所述凝结部件的所述凝结相对面面接触。在该构成中，优选地，所述冷却部件上的被所述吸热相对面和所述凝结相对面夹着的区域是所述第2部分，所述冷却部件上的除了所述第2部分以外的部分是所述第1部分。

根据上述构成，由于吸热部件的吸热相对面与凝结部件的凝结相对面面接触，所以在吸热部件与凝结部件之间形成包括因这样的面接触而产生的热阻的第2部分。并且，凝结面与吸热面之间的热传导被作为吸热部件和凝结部件面接触的部分的第2部分大大地妨碍，所以在凝结面与吸热面之间容易形成稳定的温度差。