[发明专利]一种自动上下版的直写式丝网制版系统及制版方法在审
申请号: | 201610973594.3 | 申请日: | 2016-11-07 |
公开(公告)号: | CN108062006A | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 俞庆平 | 申请(专利权)人: | 俞庆平 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 上下 直写式 丝网 制版 系统 方法 | ||
1.一种自动上下版的直写式丝网制版系统,用于丝网制版过程中在网版上进行图形曝光,其特征在于:包括主机(1)、运动系统(2)、光源驱动控制器(3)、光源(4)、可编程数据控制器(5)、空间光调制器(6)、主动聚焦模块(7)、光学镜头(8)、位置误差修正模块(9)、光电传感器(10)、自动上下版机械模块(11)以及通信模块(12);
所述运动系统(2)由步进平台(2-1)、扫描平台(2-2)以及平台驱动器(2-3)组成,其中所述平台驱动器(2-3)与所述主机(1)相连并驱动所述步进平台(2-1)和所述扫描平台(2-2)运动;
所述光源驱动控制器(3)控制所述光源(4)的开关状态以及光强;
所述可编程数据控制器(5)与所述主机(1)直接相连,在所述主机(1)的控制下驱动所述空间光调制器(6)完成曝光任务;
所述主动聚焦模块(7)控制所述光学镜头(8)与网版间的距离;
所述位置误差修正模块(9)接收扫描平台(2-2)发出的实时位置信号,对实时位置信号进行修正得到精确位置信号,并将精确位置信号输出至可编程数据控制器(5);
三个或更多的所述光电传感器(10)安装在所述步进平台(2-1)上,其中一个所述光电传感器(10)位于所述步进平台(2-1)的任一顶角,其余的所述光电传感器(10)分布在所述顶角的两条边上,且每条边上的所述光电传感器(10)数量不少于一个;
所述自动上下版机械模块(11)包括运输部件(11-1)、网版预置部件(11-2)和网版固定部件(11-3),自动上下版机械模块(11)接受主机(1)的控制;
所述通信模块(12)上行与主机(1)相连,下行与光源驱动控制器(3)、主动聚焦模块(7)以及光电传感器(10)分别相连。
2.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述主机(1)是个人计算机、服务器或工控机中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述步进平台(2-1)承载网版(13)并带动网版(13)运动,所述扫描平台(2-2)承载主动聚焦模块(7)和光学镜头(8)并带动主动聚焦模块(7)和光学镜头(8)运动。
4.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述光源(4)是激光器或发光二极管中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述可编程数据控制器(5)由随机存储器、现场可编程门阵列以及空间光调制器控制芯片组成。
6.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述空间光调制器(6)为数字微镜器件。
7.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述主动聚焦模块(7)由高速电机、位置传感器和主动聚焦控制器组成。
8.根据权利要求1所述的一种自动上下版的直写式丝网制版系统,其特征在于:所述运输部件(11-1)是吸盘或机械手中的一种。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于俞庆平,未经俞庆平许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610973594.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。