[发明专利]超声波器件、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置

说明书

提供能抑制无用的超声波并能实现薄型化的超声波器件、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置。其中，超声波器件具备背衬部，超声波探测器具备超声波器件，电子设备具备超声波探测器。超声波器件是进行超声波的收发的超声波器件(1)，具备：包括射出超声波的第一面和第二面的超声波元件(10)；和支撑超声波元件(10)的第二面并能使向第二面侧射出的超声波衰减的背衬部(20)，背衬部(20)具备：在超声波元件(10)的第二面侧配置于与超声波元件(10)对应的位置的微透镜(200)；和具有使透过微透镜(200)的超声波通过的狭缝孔(211)的背衬部件(210)。超声波元件(10)配置为阵列状，微透镜(200)与超声波元件(10)对应地配置为阵列状。

技术领域

本发明涉及超声波器件、具备超声波器件的超声波探测器、具备超声波探测器的电子设备、以及超声波图像装置。

背景技术

以往，超声波器件包括压电部件、背衬部、声匹配层以及声透镜等。并且，超声波器件使由压电部件产生的超声波经由声匹配层、声透镜入射至受检体。然后，超声波器件接收在受检体内部反射的反射波(超声波)，产生与反射波的强弱对应的电压。另外，背衬部支撑压电部件并使无用的超声波衰减，由此抑制噪声附着于入射至受检体的超声波上。

需要说明的是，在压电部件(超声波元件)形成为压电体层在硅基板上的振动膜上配置为阵列状的薄膜结构的情况下，为了确保包含抑制超声波元件阵列挠曲的刚性力等的结构性强度，使用了金属板作为构成背衬部的背衬部件。另外，背衬部件利用了行进距离越长(厚度越厚)则超声波越发衰减的特性，因此，使用具有刚性力以上的厚度的金属板。

在专利文献1中公开了如下的超声波探头：其由配置于背衬材料上的压电振子构成，背衬材料由包含纤维材料和树脂的复合材料形成，纤维材料的长边方向与压电振子的振动方向在方向上一致。此外，在专利文献1中，通过使用该超声波探头，轻且可以实现宽频的频率特性，可得到高画质的图像。另外，在专利文献1中，压电振子由所谓的体型构成，作为背衬材料，例如通过在由环氧树脂和碳纤维构成的复合材料中分散少量的钨粉等来实现轻量化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-134767号公报

当前，为了提高超声波探测器、超声波图像装置的便利性，希望在使用薄膜结构的超声波元件(超声波元件阵列)的超声波器件中实现薄型化。具体地说，希望背衬部实现薄型化。需要说明的是，在以往的单纯使背衬部件的厚度变薄的情况下，存在未被背衬部件衰减的无用的超声波向超声波元件侧射出而导致大的噪声成分的问题。并且，在B模式图像化时，该噪声成分在Y轴方向(深度方向)上显示为伪影，由此，在检查等中导致假结果。

发明内容

因而，期望一种能抑制无用的超声波并能实现薄型化的、具备背衬部的超声波器件、具备超声波器件的超声波探测器、具备超声波探测器的电子设备以及超声波图像装置。

本发明是为了解决上述问题中的至少一部分而完成的，可作为以下的方式或应用例而实现。

[应用例1]本应用例所涉及的超声波器件其特征在于，进行超声波的发送和接收，并具备：超声波元件，包括射出超声波的第一面和第二面；以及背衬部，支撑超声波元件的第二面，能够使向第二面一侧射出的超声波衰减，背衬部具备：微透镜，在超声波元件的第二面一侧，配置于与超声波元件对应的位置；以及背衬部件，具有使透过微透镜的超声波通过的狭缝孔。