[发明专利]一种低热阻、抗辐照的纳米多层薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号: | 201610908041.X | 申请日: | 2016-10-18 |
| 公开(公告)号: | CN106350771B | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
| 发明(设计)人: | 肖湘衡;司书尧;赵晓龙;李文庆;蒋昌忠 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 |
| 主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/35;C23C28/00;C23C16/01;C23C16/26 |
| 代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 唐万荣;张秋燕 |
| 地址: | 430072 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 低热 辐照 纳米 多层 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【说明书】:
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