[发明专利]一种离子源束流诊断用发射度仪控制系统

权利要求书

1.一种离子源束流诊断用发射度仪控制系统,包括连接有显示控制设备的PLC模块，其特征是：

所述PLC模块与设置在同位素电磁分离器的接收器上的离子源束流诊断用发射度仪相连；所述离子源束流诊断用发射度仪包括设置有探头(6)的运动支撑机构，所述运动支撑机构能够使所述探头(6)在位于所述同位素电磁分离器的真空室(9)内的引出电极的引出缝附近做往复直线运动，所述探头(6)能够测量离子束的电流信号；还包括连接所述探头(6)的扫描电源；所述PLC模块用于控制所述运动支撑机构、扫描电源、处理所述探头(6)所获得的所述电流信号；

所述显示控制设备用于显示所述运动支撑机构的运动和位置数据、所述PLC模块获得的信号数据，还用于输入控制所述运动支撑机构的控制指令、通过所述PLC模块控制所述运动支撑机构的运行；

实现了对扫描电源的全电压扫描，并形成反馈；可精确测量的束流张角达到±14.5°，测量束流功率达1.5kW；实现了归一化发射度的计算。

2.如权利要求1所述的控制系统，其特征是：所述运动支撑机构设置在所述真空室(9)上，包括连接步进电机(1)和螺母(2)的丝杠(3)，还包括与所述螺母(2)相连、一端穿入所述真空室(9)的传动杆(4)、设置在所述真空室(9)内的所述传动杆(4)的一端的探头支架(8)，所述探头(6)安装在所述探头支架(8)上，还包括把所述传动杆(4)设置在所述真空室(9)上的安装法兰(5)，所述传动杆(4)能够在所述步进电机(1)的驱动下带动所述探头(6)做往复直线运动，其中，所述传动杆(4)采用密封的波纹管实现所述运动支撑机构在真空环境与非真空环境之间的运动贯穿，所述传动杆(4)在所述真空室(9)中的往复直线运动的行程能够达到±105mm。

3.如权利要求2所述的控制系统，其特征是，通过所述显示控制设备输入的控制指令包括：

当前束流参数；

探头参数；

对所述扫描电源的开启、关闭；

对所述运动支撑机构的所述步进电机的电源开启、关闭；

设置所述步进电机的运行速度；

使所述传动杆复位至初始状态；

设定所述探头的当前位置；

设定所述探头的目标位置；

控制所述探头回到所述当前位置；

设置所述步进电机的起始位置；

设置所述步进电机的终止位置；

设置所述离子源束流诊断用发射度仪的空间分辨率的单位；

对所述步进电机启动、关闭；

控制所述步进电机按照所述空间分辨率的单位前进一步。

4.如权利要求2所述的控制系统，其特征是，所述显示控制设备显示的所述运动支撑机构的运动和位置数据、所述PLC模块获得的所述信号数据包括：

探头参数；

所述扫描电源的开启、关闭；

所述运动支撑机构的所述步进电机的电源开启、关闭；

所述步进电机的运行速度；

所述传动杆复位至初始状态；

所述探头的当前位置；

所述探头的目标位置；

所述步进电机的起始位置；

所述步进电机的终止位置；

所述离子源束流诊断用发射度仪的空间分辨率的单位；

所述步进电机启动、关闭；

所述离子束的束流密度分布图像；

发射度相图；

发射度数值。

5.如权利要求2所述的控制系统，其特征是：还包括三个指示灯，分别为电源指示灯、待机指示灯、运行指示灯，所述电源指示灯恒亮表示所述控制系统通电良好，所述待机指示灯恒亮表示所述步进电机未动作或停止了动作，所述运行指示灯恒亮表示所述步进电机正在运行。

6.如权利要求5所述的控制系统，其特征是：所述待机指示灯与所述运行指示灯不同时点亮。