[发明专利]非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器在审
| 申请号： | 201610880380.1 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107918184A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;高海军;陈星 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/28 | 分类号： | G02B7/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直 自动 聚焦 系统 以及 相应 光学仪器 | ||
1.一种非垂直式自动聚焦系统，其特征在于，包括：
光源(10)；
入射模块(20)，被配置为接收从所述光源发射的光，并且将所接收的光聚焦到样品(S)上；
出射模块(30)，被配置为接收从所述样品反射的光，并且将所接收的光聚焦到光探测器(40)的靶面上；以及
所述光探测器(40)，被配置为将聚焦于所述靶面的光信号转换电信号，并且用于计算处理，以自动计算并确定出所述入射模块的焦点位置的信息；
其中，从所述入射模块到所述样品的入射光路和从所述样品到所述出射模块的出射光路与所述样品的表面法线的夹角均不等于零。
2.根据权利要求1所述的非垂直式自动聚焦系统，其中当所述光源为光纤引导式光源(101)时，所述入射模块包括小孔(201)、准直透镜(202)和聚焦透镜(203)。
3.根据权利要求1所述的非垂直式自动聚焦系统，其中当所述光源为平行出射式光源时，所述入射模块包括扩束透镜(204)和聚焦透镜(205)。
4.根据权利要求2所述的非垂直式自动聚焦系统，其中所述小孔直径不大于光纤的芯径。
5.根据权利要求1所述的非垂直式自动聚焦系统，其中当所述光源为光纤引导式光源时，所述出射模块包括准直透镜(301)和聚焦透镜(302)。
6.根据权利要求1所述的非垂直式自动聚焦系统，其中当所述光源为平行出射式光源时，所述出射模块包括成像透镜(303)。
7.根据权利要求1、2、4或5中任一项所述的非垂直式自动聚焦系统，所述光探测器是四象限探测器。
8.根据权利要求1、3或6中任一项所述的非垂直式自动聚焦系统，所述光探测器是位置探测器。
9.一种光学仪器，其包括根据权利要求1-8中任一项所述的非垂直式自动聚焦系统。
10.一种光谱椭偏仪，其包括根据权利要求1-8中任一项所述的非垂直式自动聚焦系统。
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