[发明专利]一种无损检测产品表面颗粒污染物的装置及方法

权利要求书

1.一种无损检测产品表面颗粒污染物的装置，应用于对待测产品表面的亚微米级疏松颗粒污染物进行无损伤地定量测量，其特征在于，包括：

密闭耐压容器(3)，用于提供容置所述待测产品的密闭的收容空间；

压缩空气供给设备(1)，通过第一连接管(100)与所述密闭耐压容器(3)连接，用于将可使得所述颗粒污染物脱离所述待测产品的压缩空气送入所述密闭耐压容器(3)；

空气扩散器(4)，通过第二连接管(200)与所述密闭耐压容器(3)连接，用于将所述压缩空气的流量调节至便于空气粒子计数仪(5)检测的额定值；

所述空气粒子计数仪(5)，通过第三连接管(300)与所述空气扩散器(4)连接，用于检测流出所述空气扩散器(4)的压缩空气中单位体积内颗粒污染物的粒子数和粒径分布。

2.根据权利要求1所述的无损检测产品表面颗粒污染物的装置，其特征在于，所述密闭耐压容器(3)包括：

下体组件(33)，通过所述第二连接管(200)与所述空气扩散器(4)连接；

载物平台(31)，紧密地安装于所述下体组件(33)的正上方，用于承载所述待测产品；

上体组件(32)，通过所述第一连接管(100)与所述压缩空气供给设备(1)连接，可分离地安装于所述载物平台(31)的正上方，用于与所述下体组件(33)和载物平台(31)共同形成密闭的所述收容空间。

3.根据权利要求2所述的无损检测产品表面颗粒污染物的装置，其特征在于，所述密闭耐压容器(3)还包括主体组件(34)，所述下体组件(33)安装固定于所述主体组件(34)，所述上体组件(32)可活动地安装于所述主体组件(34)。

4.根据权利要求1所述的无损检测产品表面颗粒污染物的装置，其特征在于，所述压缩空气供给设备(1)包括：

两级过滤器(11)，用于提供洁净干燥的所述压缩空气；

流量调节阀(12)，通过工程塑料管与所述两级过滤器(11)连接，用于将所述压缩空气的流量调节至预设值；

多级过滤器(13)，通过工程塑料管与所述流量调节阀(12)连接，用于调控所述压缩空气的洁净度；所述多级过滤器(13)由多个过滤器串联而成，位于末端的所述过滤器为10纳米级过滤器，用于将所述压缩空气的洁净度调控至ISO Class4以上。

5.根据权利要求1所述的无损检测产品表面颗粒污染物的装置，其特征在于，所述第一连接管(100)和第二连接管(200)均由柔性管材制成，所述第三连接管(300)由PU管制成。

6.一种无损检测产品表面颗粒污染物的方法，应用于对待测产品表面的颗粒污染物进行无损伤地定量测量，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将所述待测产品放入密闭耐压容器(3)中；

压缩空气供给设备(1)将洁净干燥的压缩空气送入所述密闭耐压容器(3)中；

所述压缩空气作用于所述待测产品上，激起并携带所述待测产品表面的颗粒污染物进入空气扩散器(4)中，所述空气扩散器(4)调节所述压缩空气的流量至额定值；

空气粒子计数仪(5)检测流出所述空气扩散器(4)的压缩空气中单位体积内颗粒污染物的粒子数和粒径分布。

7.根据权利要求6所述的无损检测产品表面颗粒污染物的方法，其特征在于，所述压缩空气以水平方向作用到所述待测产品的表面上。

8.根据权利要求6所述的无损检测产品表面颗粒污染物的方法，其特征在于，所述方法还包括：对所述待测产品进行机械振动的步骤。

9.根据权利要求6所述的无损检测产品表面颗粒污染物的方法，其特征在于，所述压缩空气供给设备(1)将洁净度为ISO Class4以上的流量为一预设值的压缩空气送入所述密闭耐压容器(3)中。

10.根据权利要求6所述的无损检测产品表面颗粒污染物的方法，其特征在于，所述额定值为1CFM，即1立方英尺每分钟，也即28.3升每分钟。