[发明专利]多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法

权利要求书

1.一种多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、在U型垫层(1)外铺设一层U型网胎/碳布复合料(2)，然后进行针刺处理，之后在针刺后的U型网胎/碳布复合料(2)的左右两侧均铺设一层线型网胎/碳布复合料(3)，然后进行针刺处理，接着在针刺后的线型网胎/碳布复合料(3)外铺设一层U型碳纤维长丝(4)，然后进行针刺处理，从而在U型垫层(1)外得到一个单元层；

步骤二、重复步骤一中所述的铺设和针刺过程，直至在U型垫层(1)外得到多个单元层，最终得到多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体。

2.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法，其特征在于，步骤一中所述U型碳布/网胎复合料(2)和线型碳布/网胎复合料(3)均由碳布和碳纤维网胎经预刺复合而成，所述预刺的针刺密度为2针/cm²；所述碳布采用碳纤维织造技术制成，所述碳布为平纹、斜纹、缎纹或无纬布，所述碳布的面密度为200g/m²～480g/m²；所述碳纤维网胎采用碳纤维无纺技术制成，所述碳纤维网胎的面密度为30g/m²～200g/m²。

3.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法，其特征在于，所述U型碳纤维长丝(4)为3K、6K、12K、24K或50K碳纤维长丝。

4.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法，其特征在于，步骤一中所述针刺处理的工艺参数为：针刺密度15针/cm²～45针/cm²，层间密度5层/cm～18层/cm。

5.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的制备方法，其特征在于，步骤二中所述多晶硅氢化炉用碳纤维U型加热器预制体的体积密度为0.2g/cm³～0.68g/cm³，剥离强度为0.2kN/m～0.9kN/m。