[发明专利]物理量传感器、传感器器件、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

基板；

可动体，其相对于所述基板而对置，并以能够绕摆动中心轴而摆动的方式设置，并且在从所述基板的厚度方向俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部、和与所述第一可动部相比而面积较大的第二可动部；

第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上，并与所述摆动中心轴分离；

第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上，并与所述摆动中心轴分离，

所述俯视观察时的所述第一电极与所述摆动中心轴之间的长度和所述俯视观察时的所述第二电极与所述摆动中心轴之间的长度相同，

在所述第一可动部与所述第二可动部所排列的方向上的所述第二电极的长度与所述第一电极的长度相比而较短，

所述第一电极以及所述第二电极被构成为，对所述第一可动部与所述第一电极之间的第一边缘电容和所述第二可动部与所述第二电极之间的第二边缘电容的差分的至少一部分进行抵消。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

沿着所述摆动中心轴的方向上的所述第一电极以及所述第二电极各自的长度与所述可动体的长度相比而较长。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述可动体具有贯穿孔，所述贯穿孔被设置在所述俯视观察时与所述第二电极的边缘部重叠的位置处，并在厚度方向上贯穿所述可动体。

4.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

基板；

可动体，其相对于所述基板而对置，并以能够绕摆动中心轴而摆动的方式设置，并且在从所述基板的厚度方向俯视观察时以所述摆动中心轴为边界而被划分为第一可动部、和与所述第一可动部相比而面积较大的第二可动部；

第一电极，其以与所述第一可动部对置的方式被配置在所述基板上，并与所述摆动中心轴分离；

第二电极，其以与所述第二可动部对置的方式被配置在所述基板上，并与所述摆动中心轴分离，

所述俯视观察时的所述第一电极与所述摆动中心轴之间的长度和所述俯视观察时的所述第二电极与所述摆动中心轴之间的长度相同，

在所述第一可动部与所述第二可动部所排列的方向上的所述第二电极的长度与所述第一电极的长度相比而较短，

在进行所述俯视观察时，所述第一可动部和所述第一电极重叠的第一区域的面积与所述第二可动部和所述第二电极所重叠的第二区域的面积相比而较大。

5.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，

在进行所述俯视观察时，所述第一电极的与所述摆动中心轴相反侧的一端位于所述第一区域的外侧。

6.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，

沿着所述摆动中心轴的方向上的所述第一电极以及所述第二电极各自的长度与所述可动体的长度相比而较长。

7.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，

所述可动体具有贯穿孔，所述贯穿孔被设置在所述俯视观察时与所述第二电极的边缘部重叠的位置处，并在厚度方向上贯穿所述可动体。

8.一种传感器器件，其特征在于，具有：

权利要求1或4所述的物理量传感器；

与所述物理量传感器电连接的电子部件。

9.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1或4所述的物理量传感器。

10.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1或4所述的物理量传感器。