[发明专利]流体控制装置的制造方法

权利要求书

1.一种流体控制装置的制造方法，包含:

(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该挠性板具有一可动部；

(b)将该可变形基座结构的该挠性板及该流通板相互堆叠接合并实施一预制同步变形作业，使该挠性板及该流通板进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构；以及

(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，该可变形基座结构的该预制成型的同步变形结构为相对于该振动板的该突出部，以使该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

2.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

3.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

4.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

5.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，该预制成型的同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

6.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

7.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

8.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

9.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一曲面同步变形结构，该曲面同步变形结构为多个不相同曲率的曲面所构成，该挠性板的该曲面同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

10.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一曲面同步变形结构，该曲面同步变形结构为多个相同曲率的曲面所构成，该挠性板的该曲面同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

11.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构为该流通板及该挠性板所构成的一不规则状同步变形结构，该挠性板的该不规则状同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。